Semicorex Graphite Heater For Hot Zone, designad för att fungera tillförlitligt i högtemperaturugnar, är konstruerade för att motstå de utmanande förhållanden som är inneboende i processer som kemisk ångavsättning (CVD), epitaxi och högtemperaturglödgning. Vi på Semicorex är dedikerade till att tillverka och leverera högpresterande grafitvärmare för heta zoner som förenar kvalitet med kostnadseffektivitet.**
Homogen temperaturfördelning:Graphite Heater For Hot Zone är känt för sina enhetliga uppvärmningsegenskaper, som uppnås genom en kombination av noggrann materialbearbetning och precisionsbearbetning. Denna homogenitet säkerställer en konsekvent temperaturprofil över hela värmeytan, vilket minimerar termiska gradienter som kan leda till ojämn waferbearbetning, minskat utbyte och inkonsekvent enhetsprestanda.
Exceptionell korrosionsbeständighet:Graphite Heater For Hot Zone visar en anmärkningsvärd motståndskraft mot en mängd olika frätande gaser och kemikalier som vanligtvis förekommer vid högtemperaturhalvledarbearbetning. Denna inneboende tröghet säkerställer långsiktig värmarens stabilitet och prestanda, minimerar föroreningsrisker och förlänger livslängden.
Överlägsen oxidationsbeständighet:Till skillnad från konventionell grafit uppvisar Graphite Heater For Hot Zone överlägsen motståndskraft mot oxidation, även vid förhöjda temperaturer. Denna egenskap är avgörande för att bibehålla värmarens integritet och förhindra bildandet av partikelformig kontaminering i bearbetningskammaren.
Ultrahög kemisk renhet:Graphite Heater For Hot Zone bearbetas för att uppnå ultrahöga renhetsnivåer, vilket minimerar risken för att oönskade föroreningar införs i halvledarbearbetningsmiljön. Denna exceptionella renhet är väsentlig för att bibehålla integriteten hos ömtåliga halvledarmaterial och säkerställa de önskade elektriska och optiska egenskaperna hos tillverkade enheter.
Hög mekanisk styrka och stabilitet:Graphite Heater For Hot Zone har enastående mekanisk styrka och dimensionsstabilitet vid förhöjda temperaturer, vilket möjliggör tillverkning av robusta värmarkomponenter som kan motstå påfrestningarna av högtemperaturdrift, inklusive termisk cykling och mekanisk påfrestning.