Värmeelement av grafit

Semicorex grafitvärmeelement har blivit väsentliga komponenter i halvledartillverkning, vilket möjliggör de exakta och kontrollerade termiska miljöer som krävs för avancerad waferbearbetning. Deras unika kombination av materialegenskaper, designflexibilitet och prestandafördelar gör dem idealiska för att möta de stränga kraven på nästa generations tillverkning av halvledarenheter. Vi på Semicorex är dedikerade till att tillverka och leverera högpresterande grafitvärmeelement som förenar kvalitet med kostnadseffektivitet.**

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

1. Precisionstemperaturkontroll för förbättrade processresultat:

Semicorex grafitvärmeelement, i kombination med sofistikerade temperaturkontrollsystem, möjliggör snäv temperaturreglering och snabb termisk rampning, vilket gör att tillverkare kan finjustera processparametrar och uppnå optimala resultat.

2. Exceptionell värmelikformighet och ledningsförmåga:

Grafitvärmeelementen uppvisar exceptionell enhetlighet i sin värmestruktur, vilket säkerställer en jämn värmefördelning över hela värmeytan. Detta eliminerar hot spots och temperaturgradienter som kan leda till inkonsekvent waferbearbetning, variationer i filmavsättning eller defekter i kristalltillväxt. Och deras utmärkta värmeledningsförmåga möjliggör effektiv värmealstring och överföring till målsubstratet eller processkammaren, denna effektivitet minimerar energiförbrukningen, minskar bearbetningstiderna och bidrar till totala kostnadsbesparingar.

3. Robusthet under termisk stress:

Tillverkning av halvledare innebär ofta snabba temperaturförändringar och extrema termiska cykler. Grafitvärmeelementen är konstruerade för att motstå dessa krävande förhållanden och bibehåller sin strukturella integritet även under betydande termisk påfrestning. Denna robusthet säkerställer konsekvent prestanda och förlängd livslängd, minimerar stilleståndstiden och minskar underhållskraven.

4. Dimensionell stabilitet vid höga temperaturer:

Att bibehålla exakta dimensioner är avgörande för korrekt waferpositionering och processkontroll. Grafitvärmeelementens låga termiska expansionskoefficient säkerställer minimala dimensionsförändringar även vid förhöjda driftstemperaturer. Denna dimensionella stabilitet garanterar konsekventa uppvärmningsmönster, exakt temperaturkontroll och repeterbara processresultat.

5. Överlägsen oxidationsbeständighet:

Exponering för höga temperaturer och oxiderande miljöer kan försämra prestanda och livslängd för värmeelement. Grafitvärmeelementen uppvisar utmärkt oxidationsbeständighet och bildar ett skyddande oxidskikt vid förhöjda temperaturer. Denna naturliga passiveringsbarriär förhindrar ytterligare oxidation och nedbrytning, vilket säkerställer långsiktig prestanda och tillförlitlighet i krävande halvledarbearbetningsmiljöer.

6. Inerta mot processkemikalier:

Halvledartillverkning använder ett brett utbud av reaktiva gaser och kemikalier. Grafitvärmeelementens inneboende kemiska tröghet gör dem mycket motståndskraftiga mot korrosion och nedbrytning från dessa hårda ämnen. Denna kompatibilitet säkerställer dess livslängd och förhindrar kontaminering av känsliga wafers eller processkammare.

7. Skräddarsydda konstruktioner för specifika tillämpningar:

Semicorex grafitvärmeelement kan bearbetas exakt till komplexa former och konfigurationer för att möta de specifika kraven för olika halvledarprocesser. Denna designflexibilitet möjliggör optimerad värmedistribution, riktade uppvärmningszoner och integrering i olika processutrustning, inklusive snabba termiska glödgningssystem, kemiska ångavsättningskammare och diffusionsugnar.