Horisontella kvartswaferbåtar

Horisontella kvartswaferbåtarhåller vanligtvis halvledarskivor horisontellt i ugnsrören i värmebehandlingsutrustning, uppvärmda av externa värmeanordningar. De används i stor utsträckning i krävande processer för korrosiva halvledarvärmebehandlingar vid hög temperatur, såsom termisk oxidation, högtemperaturdiffusion, glödgning och processer för kemisk ångavsättning (CVD).

Funktionerna hos Semicorex horisontella kvartswaferbåtar

1. Stabil hållning och säkring

Semicorex horisontella kvartswaferbåtar har utmärkt lastbärande kapacitet och kan ständigt erbjuda stabilt stöd för flera halvledarwafers. Och deras optimerade externa design och exakta slitsstruktur säkerställer var och enrånär perfekt monterad och stadigt fastsatt på de horisontella kvartswaferbåtarna, vilket avsevärt minskar waferrepor och kollisioner orsakade av skakning, förskjutning och lutning under transport- och tillverkningsprocesser.

2.Processens enhetlighet bistånd

Den lika stora slitsstrukturen hos horisontella kvartsskivor möjliggör ordnad placering av halvledarskivor, vilket skapar ett stabilt och jämnt gasflödesfält i högtemperaturugnarna. Den strukturella designen uppnår konsekvent gaskontakt och reaktionshastighet på varje waferyta, och reducerar därigenom effektivt olika defekter som orsakas av den ojämna uppvärmningen och differentiell gaskontakt, såsom ofullständig waferoxidation, ojämn tunnfilmsavsättning och dopningskoncentrationsavvikelse.

3.Långvarig livslängd

Tack vare kvartsmaterialets överlägsna högtemperaturbeständighet kan Semicorex horisontella kvartswaferbåtar tåla höga temperaturer på 1100-1200 ℃ under lång tid utan deformation eller smältning.Kvartsär kemiskt inert mot gaser som vanligtvis används i halvledarprocesser, såsom syre, kväve och väteklorid. Denna exceptionella kemiska tröghet kan minimera risken för korrosion från processgaser, vilket avsevärt förlänger livslängden och minskar tid och kostnader för utbyte av utrustning.