Inre styrrör

Semicorex Inner Guide Tube är en precisionskonstrueradkol/kol (C/C) komponentdesignad för avancerade termiska fältapplikationer vid hög temperatur, särskilt vid tillväxt av kiselkristaller med hög renhet. Som ett kritiskt element inom kristalltillväxtugnar spelar denna komponent en central roll för att forma och stabilisera den termiska gradienten, vilket säkerställer optimal kristallbildning och jämn materialkvalitet.

Det inre styrröret är tillverkat av kolfiberförstärkt kolkomposit med hög densitet och erbjuder exceptionell strukturell integritet och termisk stabilitet under extrema förhållanden. Med en densitet på ≥1,35 g/cm³ och en böjhållfasthet på ≥110 MPa bibehåller den mekanisk robusthet även under långvarig exponering för höga temperaturer. Dessa egenskaper är väsentliga vid produktion av halvledarkvalitet, där även mindre fluktuationer i termiska förhållanden avsevärt kan påverka kristallens enhetlighet och defekthastigheter.

Kärnfunktionalitet: Precision Gradient Control

Den primära rollen för C/C Inner Guide Tube är att konstruera ett exakt gradienttemperaturfält. Under kiselkristalltillväxtprocessen placeras den direkt ovanför smältan för att:

Direkt gasflöde: Det styr flödet av inert argongas och säkerställer att kiseloxidångor (SiO) effektivt sveps bort från smältytan, vilket förhindrar syreförorening i kristallen.

Termisk avskärmning: Den skyddar den växande kristallen från direkt värmestrålning från degelns väggar, och etablerar den branta axiella temperaturgradienten som krävs för höghastighets, högkvalitativ kristalldragning.

Energieffektivitet: Genom att koncentrera värmen i smältzonen och isolera de övre ugnskomponenterna minskar det avsevärt den totala energiförbrukningen.

Tekniska specifikationer & Material Excellence

Våra inre styrrör är tillverkade med hög densitetKol/Kolkompositer, vilket ger ett överlägset alternativ till traditionell grafit. Materialegenskaperna är optimerade för de extrema förhållandena i halvledarvakuumugnar:

Densitet: ≥ 1,35 g/cm³

Böjhållfasthet: ≥ 110 MPa

Koefficient för termisk expansion (CTE): ≤ 1,0 × 10⁻⁶ /K

Värmeledningsförmåga (rumstemperatur): ≤ 10 W/(m·K)

Industri

När industrin går mot större waferstorlekar (300 mm och 450 mm), ökar kraven på det termiska fältet exponentiellt. Våra inre styrrör är kompatibla med stora CZ-ugnarmärken och kan anpassas vad gäller geometri och beläggning.