Vad är diffusionsugnen?

En diffusionsugn är en specialiserad utrustning som används för att införa föroreningar i halvledarskivor på ett kontrollerat sätt. Dessa föroreningar, som kallas dopämnen, förändrar de elektriska egenskaperna hos halvledare, vilket gör att olika typer av elektroniska komponenter kan tillverkas. Denna kontrollerade diffusionsprocess är avgörande för produktionen av transistorer, dioder och integrerade kretsar.

Diffusionsugnar består av flera nyckelkomponenter, inklusive processrör, värmeelement, luftintagsmekanismer och styrsystem. Processröret fungerar som en kammare där wafern placeras. Det tål höga temperaturer och korrosiva gaser, vilket gör det till ett idealiskt material för denna applikation.

Värmeelement, ger den nödvändiga värmen för att höja ugnstemperaturen till önskad nivå. Temperaturer i diffusionsugnar är vanligtvis så höga som 1200°C. För att säkerställa jämn uppvärmning är värmeelementen ofta anordnade i en spiralform.

En gasinloppsmekanism används för att införa dopningsgas i ugnen. Vanliga dopämnen inkluderar bor, fosfor och arsenik, beroende på de önskade elektriska egenskaperna hos den slutliga halvledarprodukten. Ett kontrollsystem reglerar flödet av dopningsgas och upprätthåller exakt kontroll över diffusionsprocessen.

Diffusionsugnar används i stor utsträckning inom halvledarindustrin. De används i dopningsprocessen som skapar pn-övergångar i transistorer och dioder. Diffusionsugnar spelar också en viktig roll vid tillverkningen av integrerade kretsar, där flera lager av olika halvledare staplas och sammankopplas.

Vidare är diffusionsugnar väsentliga för tillverkning av avancerade halvledarenheter som power MOSFETs (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistors) och Insulated Gate Bipolar Transistors (IGBTs). Dessa enheter är så avgörande för kraftelektronik och förnybar energiteknik att diffusionsugnar är en integrerad del av deras produktion.

Diffusionsugnar är viktiga verktyg i halvledartillverkning, vilket möjliggör kontrollerat införande av dopämnen i halvledarskivor. Dessa ugnar är en integrerad del av produktionen av olika halvledarenheter som transistorer, dioder och integrerade kretsar. Allt eftersom tekniken går framåt fortsätter diffusionsugnarnas kapacitet att öka, vilket möjliggör mer exakta och tillförlitliga tillverkningsprocesser. Halvledarindustrin är starkt beroende av dessa ugnar för att möta den växande efterfrågan på avancerad elektronisk utrustning.

Semicorex tillverkar skräddarsydda SiC-delar för diffusionsugnar. Om du har några frågor eller behöver ytterligare information, tveka inte att kontakta oss.

Kontakta telefonnummer +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com