En diffusionsugn är en specialiserad utrustning som används för att införa föroreningar i halvledarskivor på ett kontrollerat sätt. Dessa föroreningar, som kallas dopämnen, förändrar de elektriska egenskaperna hos halvledare, vilket gör att olika typer av elektroniska komponenter kan tillverkas. Den......
Läs merDet finns två typer av epitaxi: homogen och heterogen. För att kunna producera SiC-enheter med specifik resistans och andra parametrar för olika applikationer måste substratet uppfylla villkoren för epitaxi innan produktionen kan påbörjas. Kvaliteten på epitaxi påverkar enhetens prestanda.
Läs merI halvledartillverkning är etsning ett av de viktigaste stegen, tillsammans med fotolitografi och tunnfilmsavsättning. Det innebär att man tar bort oönskat material från ytan på en wafer med kemiska eller fysikaliska metoder. Detta steg utförs efter beläggning, fotolitografi och framkallning. Den an......
Läs mer