SOI, förkortning för Silicon-On-Insulator, är en halvledartillverkningsprocess baserad på speciella substratmaterial. Sedan dess industrialisering på 1980-talet har denna teknik blivit en viktig gren av avancerade halvledartillverkningsprocesser. SOI-processen kännetecknas av sin unika treskiktskom......
Läs merDen elektrostatiska chucken åtar sig flera funktioner såsom enhetlig elektrostatisk urladdning, värmeledning och waferadsorption och fixering inom halvledartillverkning. En av kärnfunktionerna hos ESC är att stabilt adsorbera wafers under extrema driftsförhållanden som högt vakuum, stark plasma och ......
Läs merVid tillverkning av wafers med ultrahög renhet måste wafers nå en renhetsstandard på över 99,999999999 % för att säkerställa de grundläggande egenskaperna hos halvledare. Paradoxalt nog, för att uppnå den funktionella konstruktionen av integrerade kretsar, måste specifika föroreningar införas lokalt......
Läs merKeramiska vakuumchuckar är gjorda av porösa keramiska material med jämn porstorleksfördelning och intern sammankoppling. Efter slipning är ytan slät och ömtålig med god planhet. De används i stor utsträckning vid tillverkning av halvledarwafers som kisel, safir och galliumarsenid.
Läs merVal av wafer har en betydande inverkan på utvecklingen och tillverkningen av halvledarenheter. Val av wafer bör vägledas av kraven i specifika tillämpningsscenarier och bör noggrant utvärderas med hjälp av följande avgörande mått.
Läs merTorretsningsutrustning använder inga våta kemikalier för etsning. Den introducerar i första hand ett gasformigt etsmedel i kammaren genom en övre elektrod med små genomgående hål. Det elektriska fältet som genereras av de övre och nedre elektroderna joniserar det gasformiga etsmedlet, som sedan reag......
Läs mer