PBN -kompositvärmare

Semicorex PBN -kompositvärmare slår samman den utmärkta värmeledningsförmågan hos pyrolytisk grafit med den kemiska inertheten och elektrisk isolering av pyrolytisk bornitrid. Dessa värmare är byggda av en mycket hög renhet grafit och PBN som appliceras med hjälp av en högkvalitativ CVD -process (kemisk ångavsättning) under avsättningsförhållanden med höga renheter. Varje individuella prestationsskikt har deponerats med mycket extrem styrbarhet för att säkerställa ultrahög renhet och konsekventa termiska egenskaper. Grafitkärnan, som ger snabb och enhetlig uppvärmning i hela, skyddas från oxidation och förorening av PBN -kapseln; Detta gör värmaren idealisk för vakuumgasmiljöer och inerta gasmiljöer. Dessa PBN -värmare är avsiktligt utformade för användning i MBE (Molecular Beam Epitaxy) reaktorer, CVD -reaktorer och andra kristalltillväxtsystem.

Den pyrolytiska bornitrid-pyrolytiska grafiten (PBN-PG) kompositvärmare är en värmare som använder PBN med hög isolering som underlaget och använder lågtrycks termisk nedbrytningskemisk ångavsättning (CVD) vid lågt tryck (under 10Torr) och hög temperatur för att belägga den ledande PG. Huvudkomponenterna i denna sammansatta värmare är pyrolytisk bornitrid (PBN) och pyrolytisk grafit (PG). På grund av dess utmärkta korrosionsbeständighet och hög temperaturmotstånd används den huvudsakligen för halvledarunderlagsuppvärmning (används i MBE, MOCVD, sputteringsbeläggning, etc.); Superconductor -underlagsuppvärmning; provvärme under provanalys; Elektronmikroskopprovvärme; metallvärme; Metallindunstningsvärme, etc.

PBN -värmare kan motstå driftstemperaturer på upp till 1600 ° C i vakuum och ha en förbättrad förmåga att motstå termisk chock över alla metallbaserade alternativ som du skulle lita på. Värmarens yta är extremt smidig och tät och producerar betydligt mindre partiklar under drift, vilket är avgörande för applikationer där kontaminering inte kan tolereras, såsom halvledarskivlig bearbetning.

Den sammansatta strukturen ger utmärkt termisk enhetlighet över värmarytan, och dess resistiva stigar kan anpassas för att möjliggöra en skräddarsydd värmefördelning. Denna design möjliggör snabba ramp-up- och kylningscykler under bearbetning utan sprickor och delaminering på grund av samma termiska expansionskoefficienter för de använda materialen. Elektroderna kan motstå kontinuerlig högström och är också kompatibla i vakuum.

Semicorex tillhandahåller obegränsad designflexibilitet för unika former, storlekar och kraftkrav vid behov, för att tillgodose specifika tillämpningsbehov; Oavsett om det är för standardskivstorlekar, eller mer komplexa geometrier, garanterar vi dimensionell noggrannhet och termisk enhetlighet i varje producerad enhet.

PBN-kompositvärmare är perfekta för ultra-rena applikationer, inklusive:

• MBE-system för III-V och II-VI-sammansatt halvledarbehandling
• Vakuumbeläggningssystem för optiska komponenter
• Kristalltillväxtsystem för safir och SIC
• Termisk bearbetning av hög renhet för forsknings- och utvecklingslaboratorier.