PBN -värmare

Semicorex pyrolytisk bornitrid-PBN-värmare är en högren, högpresterande uppvärmningskomponent utformad för att kräva applikationer där ultralegen, kemiskt stabila och termiskt effektiva material är viktiga. Tillverkad genom en kemisk ångavlagringsprocess (CVD) uppvisar PBN exceptionell värmeledningsförmåga, högtemperaturresistens och enastående kemisk inerthet, vilket gör det till det ideala valet för halvledarbearbetning, kristalltillväxt och vakuumapplikationer.

PBN-värmare är en värmare som använder mycket isolerande PBN som ett substrat och använder lågtryck termisk nedbrytningskemisk ångavsättning (CVD) för att belägga ledande PG vid lågt tryck (under 10Torr) och hög temperatur. Huvudkomponenterna i denna sammansatta värmare är pyrolytisk bornitrid (PBN) och pyrolytisk grafit (PG). På grund av dess utmärkta korrosionsbeständighet och hög temperaturmotstånd används den huvudsakligen för halvledarunderlagsuppvärmning (används i MBE, MOCVD, sputteringsbeläggning, etc.); Superconductor -underlagsuppvärmning; provvärme under provanalys; Elektronmikroskopprovvärme; metallvärme; Metallindunstningsvärme, etc.

PBN är inerta till frätande gaser; har hög renhet (större än 99,99%); våtar inte eller reagerar med de flesta smälta metaller (den har egenskaperna hos en non-stick-panna, och metallen kan användas 100%); har god hög temperaturmotstånd (den maximala driftstemperaturen är 2000 ℃); God densitet; God termisk chockmotstånd och andra utmärkta egenskaper gör det till ett idealiskt material för att förbereda PBN-PG-kompositvärmare. PG kan värmas snabbt till 1600 ℃ (i en inert atmosfär och under vakuum) i en PBN -värmare. Samtidigt, i kombination med den goda värmeledningsförmågan hos PBN, har värmningsytan god värmeenhet. Med den snabba utvecklingen av relaterade industrier har efterfrågan på PBN-PG-kompositvärmare också ökat snabbt.

PBN -värmare kan tillverkas i olika former och konfigurationer för att uppfylla specifika design- och integrationskrav. Typiska mönster inkluderar plana värmare, rörformiga värmare och anpassade geometrier med inbäddade eller ytmonterade uppvärmningselement. Värmeelementen är vanligtvis tillverkade av pyrolytisk grafit (PG) och inkapslad i PBN, vilket ger en helt förseglad, elektriskt isolerande och termiskt effektiv struktur.