PECVD solgrafitbåt

SemicorexPECVD solgrafitbåtarär precision gjorda av hög renhetisostatisk grafit. Varje PECVD solgrafitbåt från Semicorex genomgår exakt bearbetning, dimensionell inspektion och elektrisk prestandatestning för att säkerställa stabil prestanda i högtemperaturplasmamiljöer.

Under PECVD-bearbetning bär PECVD-solgrafitbåten kiselskivor in i PECVD-reaktionskammaren och fungerar som elektroden ansluten till RF-strömförsörjningen. När en växelspänning läggs på mellan intilliggande båtplattor bildas ett elektriskt fält. Under påverkan av det elektriska fältet genomgår de reaktiva gaserna (såsom silan SiH4 och ammoniak NH3) glödurladdning och genererar plasma. Joner och fria radikaler i plasman bryter ned prekursorgaserna och bildar kiseljoner (Si) och kvävejoner (N). Dessa joner kombineras för att bilda kiselnitrid (Si₃N4) molekyler, som sedan avsätts på ytan av kiselskivan för att bilda tunna filmer.

1. Exceptionell termisk stabilitet

Med en termisk expansionskoefficient nära den för kiselskivor, SemicorxPECVD solgrafitbåtupplever försumbar dimensionsförändring vid uppvärmning, vilket på ett tillförlitligt sätt undviker termisk spänningsinducerad skada på skivorna.

2. Överlägsen elektrisk och termisk ledningsförmåga

Semicorex PECVD solar grafitbåtar har utmärkt elektrisk ledningsförmåga, vilket säkerställer snabb ledning av RF-ström och enhetlig elektrisk fältfördelning, vilket är fördelaktigt för stabil plasmagenerering och enhetlig kiselwaferavsättning. Dessutom underlättar dess överlägsna värmeledningsförmåga snabb kylning och uppvärmning, vilket förbättrar produktionseffektiviteten samtidigt som lokal överhettning förhindras från att påverka avsättningskvaliteten.

3. Stark kemisk stabilitet

Tack vare användningen av förstklassigt material är Semicorex PECVD solgrafitbåt mindre benägen att reagera med de reaktiva gaserna och plasman. Denna egenskap förhindrar avsevärt ojämn elektrisk fältfördelning orsakad av korrosion, deformation eller avsättning av föroreningar i grafitbåten, vilket säkerställer stabiliteten i avsättningsprocessen och ytkvaliteten på kiselskivor.

4. Enastående mekanisk styrka

Med sin enastående mekaniska styrka kan Semicorex PECVD solgrafitbåt lätt hantera vikten av högvolyms waferlaster. De kan motstå den mekaniska påfrestningen som genereras under lastning och transport under lång tid utan att lätt deformeras eller gå sönder.

5. Utmärkt dimensionell konsistens

Semicorex PECVD solar grafitbåt uppnår exceptionell dimensionell noggrannhet över alla komponenter genom precisionsbearbetning. Det håller kiselskivan i ett fast läge under deponering, vilket säkerställer enhetlig deponering och kompatibilitet med automatiserad produktion.