Produkter

Semicorex SiC-plattmembran är tillverkade av högrent SiC-pulver via sintring vid hög temperatur, och är premiumfilterelementen som representerar oorganiska keramiska membran av högsta klass. Med högt flöde, korrosionsbeständighet, enkel rengöring, effektiv filtrering och lång livslängd, är Semicorex SiC plattplåtsmembran idealiska för MBR-applikationer.

Semicorex tredelade grafitdeglar är de högpresterande delade grafitbehållarna speciellt framtagna för enkristall-kiseltillväxtprocesser. Idealisk för avancerad termisk halvledarbehandling, Semicorex tredelad grafitdegel kan tillförlitligt stödja kvartsdegeln och dess interna material för att uppnå kontrollerad tillväxt av enkristallstrukturer.

Semicorex kiselkarbidugnsrör är de högpresterande SiC-komponenterna speciellt framtagna för front-end-processer med hög temperatur i den avancerade halvledarindustrin. Tack vare sin exceptionella prestanda kan Semicorex ugnsrör av kiselkarbid motstå de tuffa driftsmiljöerna med extrema temperaturer, korrosiva gaser och drastiska termiska fluktuationer.

Semicorex CVD SiC-belagda waferbåtar är de keramiska bärverktygen med hög precision gjorda av kiselkarbid med ultrahög renhet, med hög tillförlitlighet, utmärkt renhet och förlängd livslängd. Semicorex CVD SiC-belagda waferbåtar fungerar som den idealiska lösningen för termisk bearbetning av wafers och kan uppnå säker och stabil positionering av wafers under överförings- och bearbetningsskeden.

Semicorex Upper Electrode Grounding Ring är en CVD SiC plasmakontrollkomponent med ultrahög renhet som stabiliserar elektrisk potential och stöder enhetlig plasmadistribution i avancerade halvledaretsning och deponeringssystem. Semicorex levererar precisions-CVD SiC-jordningsringar och plasma-vända halvledarkomponenter över hela världen, och erbjuder anpassade dimensioner, elektriska egenskaper och tillförlitlig global leverans till ledande tillverkare av halvledarutrustning.*

Semicorex Etching Edge Ring är en högrenhet CVD SiC plasmavänd komponent som kontrollerar plasmadistributionen runt waferkanten, vilket förbättrar etsningslikformigheten, processnoggrannheten och den övergripande halvledartillverkningsprestanda. Semicorex tillhandahåller avancerade CVD SiC-fokusringar, jordningsringar, duschmunstycken och skräddarsydda plasmakontrollkomponenter till halvledartillverkare över hela världen, med stöd av precisionsteknik och pålitligt globalt utbud.*