Semicorex kiselkarbidbelagda susceptor för induktivt kopplad plasma (ICP) är designad speciellt för högtemperatur-waferhanteringsprocesser som epitaxi och MOCVD. Med en stabil oxidationsbeständighet vid hög temperatur på upp till 1600°C säkerställer våra bärare jämna termiska profiler, laminära gasflödesmönster och förhindrar kontaminering eller diffusion av föroreningar.
Läs merSkicka förfrågan