Waferbärarbricka

Semicorex tillhandahåller keramik av halvledarkvalitet för dina OEM-halvledarverktyg och waferhanteringskomponenter med fokus på kiselkarbidlager i halvledarindustrier. Vi har varit tillverkare och leverantör av Wafer Carrier Tray i många år. Vår Wafer Carrier Tray har en bra prisfördel och täcker de flesta europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Inte bara för tunnfilmsavsättningsfaser som epitaxi eller MOCVD, eller bearbetning av waferhantering, tillhandahåller Semicorex ultraren keramisk bärare som används för att stödja wafers. Kärnan i processen, Wafer Carrier Tray för MOCVD, utsätts först för deponeringsmiljön, så den har hög värme- och korrosionsbeständighet. Den SiC-belagda bäraren har också en hög värmeledningsförmåga och utmärkta värmefördelningsegenskaper.
Kontakta oss idag för att lära dig mer om vår Wafer Carrier Tray.

Parametrar för Wafer Carrier Tray

Tekniska egenskaper
Index	Enhet	Värde
Materialnamn		Reaktionssintrad kiselkarbid	Trycklös sintrad kiselkarbid	Omkristalliserad kiselkarbid
Sammansättning		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulkdensitet	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Böjningsstyrka	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
Kompressionsstyrka	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Hårdhet	Knapp	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Värmeledningsförmåga	W/m.k	95	120	23
Koefficient för termisk expansion	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Specifik värme	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Max temperatur i luft	℃	1200	1500	1600
Elastisk modul	Gpa	360	410	240

Skillnaden mellan SSiC och RBSiC:

1. Sintringsprocessen är annorlunda. RBSiC ska infiltrera fritt Si i kiselkarbid vid låg temperatur, SSiC bildas genom naturlig krympning vid 2100 grader.

2. SSiC har slätare yta, högre densitet och högre hållfasthet, för vissa tätningar med strängare ytkrav blir SSiC bättre.

3. Olika använd tid under olika PH och temperatur, SSiC är längre än RBSiC

Funktioner hos Wafer Carrier Tray

- CVD Silicon Carbide beläggningar för att förbättra livslängden.
- Värmeisolering gjord av högpresterande renat styvt kol.
- Både grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet har en hög värmeledningsförmåga och utmärkta värmefördelningsegenskaper.
- Högren grafit och SiC-beläggning för nålhålsbeständighet och längre livslängd

Tillgängliga former av kiselkarbidkeramik:

● Keramisk stav / keramisk stift / keramisk kolv

● Keramiskt rör / keramisk bussning / keramisk hylsa

● Keramisk ring / keramisk bricka / keramisk distans

● Keramisk skiva

● Keramisk platta / keramiskt block

● Keramisk kula

● Keramisk kolv

● Keramiskt munstycke

● Keramisk degel

● Andra specialanpassade keramiska delar