Semicorex är en storskalig tillverkare och leverantör av kiselkarbidbelagd grafit i Kina. Vår MOCVD inloppstätningsring har en bra prisfördel och täcker många av de europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner.
Semicorex Silicon Carbide Coating MOCVD Inlet Seal Ring är en högrent SiC-belagd grafit som används i deponeringsprocessen för hantering av wafer. SiC-belagd MOCVD-inloppstätningsring har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
På Semicorex fokuserar vi på att tillhandahålla högkvalitativ, kostnadseffektiv MOCVD-inloppstätningsring, vi prioriterar kundnöjdhet och tillhandahåller kostnadseffektiva lösningar. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner, leverera högkvalitativa produkter och exceptionell kundservice.
Parametrar för MOCVD inloppstätningsring
Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning |
||
SiC-CVD-egenskaper |
||
Kristallstruktur |
FCC β-fas |
|
Densitet |
g/cm³ |
3.21 |
Hårdhet |
Vickers hårdhet |
2500 |
Kornstorlek |
μm |
2~10 |
Kemisk renhet |
% |
99.99995 |
Värmekapacitet |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimeringstemperatur |
℃ |
2700 |
Felexural styrka |
MPa (RT 4-punkts) |
415 |
Youngs modul |
Gpa (4pt böj, 1300 ℃) |
430 |
Termisk expansion (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Värmeledningsförmåga |
(W/mK) |
300 |
Funktioner hos MOCVD inloppstätningsring
SiC-belagd grafit med hög renhet
Överlägsen värmebeständighet och termisk enhetlighet
Fin SiC-kristallbelagd för en slät yta
Hög hållbarhet mot kemisk rengöring
Materialet är utformat så att sprickor och delaminering inte uppstår.