Kvartsugnsrör

Semicorex kvartsugnsrör, waferbåtar, kvartsdeglar för kisel enkristalltillväxt är alla gjorda av hög renhetkvartsmateriall. Kvarts används ofta i halvledarindustrin, högren kvarts är den viktiga förbrukningsvaran vid wafertillverkning. Den huvudsakliga målmarknaden för kvartsdelar inom halvledarområdet är diffusions- och etsningsprocessen i wafertillverkning, kan delas in i två huvudkategorier: högtemperaturdelar och lågtemperaturdelar.

1.Högtemperaturdelar är kvartsugnsrör, waferbåt, båthållare, och etc. De måste direkt eller indirekt komma i kontakt med Silicon wafer i högtemperaturmiljö, är huvudsakligen gjorda av smält kvartsglasmaterial, producerat genom termisk bearbetning.

2.Lågtemperaturdelar är kvartsringar i etsningsprocessen, och inklusive kassetter, rengöringstankar i rengöringsprocessen. De används främst i lågtemperaturmiljöer, som huvudsakligen är gjorda av smält kvartsglas, framställt genom kall bearbetning.

Komponenter i högtemperaturzonen förbrukas snabbare, men de används vanligtvis i system med flera skivor (en bärare som innehåller flera kiselskivor), medan komponenter i lågtemperaturzonen förbrukas långsammare, men de används i system med enkelskiva (en bärare som håller en kiselskiva); därför är den totala marknadsstorleken för båda relativt likartad.

Ugnen är det område där wafers genomgår en högtemperaturuppvärmningsprocess, består av kvartsugnsrör, reaktor och flera värmare, den används allmänt i diffusion, oxidation, RTP-processer i halvledarbearbetning. Ugnen är huvudsakligen indelad i horisontella och vertikala typer:. I en horisontell ugn placeras wafers på en kvartsbåt, som i sin tur placeras på en SiC-bärare. Det finns även adaptiva bafflar fram och bak. Bäraren trycks in i kvartsugnsröret och skivorna genomgår reaktionen i en zon med konstant temperatur. I en vertikal ugn placeras wafers på ett kvartstorn och höjs sedan långsamt in i kvartsugnsröret för bearbetning.

På grund av de höga temperaturerna som är involverade i ovanstående processer, för att förhindra allvarlig deformation och kollaps av kvartsugnsröret efter upprepad och långvarig användning, bör ett kvartsugnsrör som är resistent mot deformation och kollaps och har lång livslängd användas under produktionen.

Här är fördelarna medkvartsugnsrör:

1. Hög temperaturbeständighet. Kvartsglas har en mjukningspunkt på cirka 1730 ℃ och kan användas under längre perioder vid 1150 ℃, med en kortvarig maximal temperatur som når 1450 ℃.

2. Korrosionsbeständighet. Med undantag för fluorvätesyra, reagerar kvarts med hög renhet knappast kemiskt med andra sura ämnen. Vid höga temperaturer kan den motstå korrosion från svavelsyra, salpetersyra, saltsyra, regenvatten, neutrala salter, kol och svavel. Dess syrabeständighet är 30 gånger högre än för keramik och 150 gånger högre än för rostfritt stål.  Dess kemiska stabilitet, särskilt vid höga temperaturer, är oöverträffad av något annat tekniskt material.

3. Bra termisk stabilitet. Kvarts med hög renhet har en extremt låg termisk expansionskoefficient och tål drastiska temperaturförändringar.  Att värma kvarts med hög renhet till cirka 1100 ℃ och sedan nedsänka det i rumstempererat vatten kommer inte att få det att splittras.

4. Bra ljusöverföringsprestanda. Högren kvarts har bra ljusöverföringsprestanda över hela spektrumet från ultraviolett till infrarött. Transmittansen för synligt ljus är över 93 %, och i det ultravioletta spektrumet kan den maximala transmittansen nå över 80 %.

5. Bra elektrisk isoleringsförmåga. Resistiviteten hos kvarts med hög renhet är tio tusen gånger högre än för vanligt kvartsglas, vilket gör det till ett utmärkt elektriskt isoleringsmaterial som har goda elektriska egenskaper även vid höga temperaturer.