Semicorex styv isolering är en högpresterande kortfiberhård filt, speciellt utvecklad för termisk hantering inom epitaxutrustning. Att välja Semicorex innebär att välja beprövad expertis, premiummaterial och anpassade lösningar som säkerställer högsta renhet, tillförlitlighet och effektivitet för dina halvledarprocesser.
Semicorex styv isolering är speciellt utformad för SIC-epitaxial process, med unik monteringsstruktur, hög resistivitet, gnistförebyggande och god termisk isoleringsprestanda. Den styva isoleringen är en högpresterande termisk barriär tillverkad av premiumkoramiska fibrer. Detta styva isoleringsmaterial är konstruerat i en hård filt och kombinerar utmärkt mekanisk styrka med överlägsna termiska isoleringsegenskaper, vilket gör det idealiskt för de krävande förhållandena i halvledarproduktionsmiljöer.
Halvledarkvalitetssilikon och kiselkarbid måste vanligtvis framställas i en högtemperaturmiljö med hjälp av specifika instrument såsom enkristall kiselgammar och kiselkarbid enkristalltillväxtugnar, och det finns strängare krav för beredningsmiljön. Till exempel upprätthållandet av beredningstemperaturen och minskningen av yttre föroreningsinterferens. Av denna anledning kändes en termisk isolering vävd från kolfiber med hög renhet kom till, och med sina fördelar med enkel gjutning, inte lätt att bryta, stark värmeisoleringsprestanda och låg föroreningsinnehåll blev det en veritabel "varm kläder" innan halvledarnas födelse.
Med hjälp av PAN-baserad kolfiberfilt och viskosbaserad kolfiber känd som råvaror, framställs styv isolering genom processer som blötläggning, bindning, härdning, värmebehandling och bearbetning. Det används ofta i hög temperaturutrustning såsom pulvermetallurgi industriella ugnar, vakuumsintringsugnar, fotovoltaiska enkelkristallugnar, polykristallina ugnar och halvledarkristalltillväxtugnar. Den har bra kompressionsmotstånd och utmärkt värmeisoleringsprestanda. Jämfört med mjuk filt har styv isolering fördelarna med enkel installation, stabil storlek, låg termisk isoleringsdämpning och lång livslängd.