Semicorex halvledargrafitvärmare är en högeffektiv värmeanordning gjord av högkvalitativ isostatisk grafit. Det används ofta i kärnprocesslänkarna för halvledartillverkning, såsom det termiska området för kristalltillväxtugnar, epitaxiella tillväxtprocesser, jonimplantationsutrustning, plasmaetsningsutrustning och tillverkning av halvledaranordningssintringsformar.
Halvledaregrafitvärmareär en avancerad värmeanordning gjord av högrent isostatiskt grafitmaterial. Dess utmärkta elektriska ledningsförmåga och värmeledningsförmåga säkerställer exakt temperaturkontroll och enhetlig värmefördelning för tillväxt och bearbetning av halvledarmaterial. När den elektriska strömmen passerar genom värmaren övervinner den grafitens inre elektriska motstånd, omvandlar elektrisk energi till värme, höjer grafittemperaturen och uppnår uppvärmning. Exakt temperaturkontroll kan vanligtvis uppnås genom att justera den elektriska strömstyrkan och värmemotståndet.
Semicorex noggrant utvalda högrenhetisostatisk grafituppvisar utmärkt värmeledningsförmåga, vilket gör det möjligt att snabbt och jämnt överföra värme till varje hörn av uppvärmningsområdet, vilket effektivt förhindrar lokal överhettning.
Särskilt, även när den utsätts för extremt höga temperaturer, som ultrahög temperatur bågablation, bibehåller hög renhet isostatisk grafit stabila fysikaliska och kemiska egenskaper. Intensiv värme skulle normalt få material att smälta, deformeras eller oxideras, men denna typ av grafit kan motstå dessa förändringar. Detta gör den väl lämpad för högtemperaturprocesser i halvledarproduktion, inklusive enkristall kiseldragning och kiselkarbidkristalltillväxt.
Halvledargrafitvärmare kännetecknas av energieffektivitet. Den kräver ingen förvärmning, når den inställda temperaturen snabbt och uppnår betydande energibesparingar jämfört med traditionella värmare. Dess höga termiska omvandlingseffektivitet minskar effektivt energiförbrukningen, vilket ger energibesparing och minskad förbrukning. Under drift producerar den inga föroreningar eller avgaser, vilket uppfyller miljökraven.
Dessutom har en halvledargrafitvärmare en lång livslängd. Isostatisk grafit med hög renhet ger dem överlägsen mekanisk styrka, stark korrosionsbeständighet och utmärkt motståndskraft mot termisk chock. De är mindre känsliga för faktorer som höga temperaturer och kemisk korrosion, vilket möjliggör en förlängd livslängd.