Halvledarkvartskor

Semicorex Semiconductor Quartz Crucibles är förbrukningsvaror i halvledarindustrin specifikt för kvartskorskor som används i kristalldragningsprocessen för kiselstillverkning. De är tillverkade av ultra-pure smält kvarts som tillfredsställer renlighet, homogenitet och värmebeständighet och tillverkas för att möta de höga kraven från modern halvledartillverkning. De är avgörande för kiselgötsspecifikationen eftersom deras attribut direkt påverkar skivprestanda och utbyte i integrerad kretsbehandling.

Ur en termisk och fysisk synvinkel: Kvartens klyftor tål värme mycket bra. Deformationspunkten är ungefär 1100 ° C, mjukningspunkten är ungefär 1730 ° C och den maximala kontinuerliga servicetemperaturen är 1100 ° C, [kortvarig exponering upp till 1450 ° C]. Dessa egenskaper möjliggör användbarhet vid höga temperaturer samtidigt som hög renhet och termisk motståndskraft, och därför främjar stabilitet under czochralski (CZ) kristalldragningsprocesser, där kontaminering och deformation måste minimeras, och exakta termiska profiler är viktigaste för att erhålla homogena kristalltillväxt.

Ur ett strukturellt perspektiv består halvledarkvartskörningar av en skiktad kompositstruktur utformad för termiska egenskaper och mekanisk styrka. Det startande (rörande inåt) skiktet är ett transparent kvartsskikt som i allmänhet är en tredjedel av väggtjockleken (cirka 3–5 mm) och har en relativt låg bubbelhalt (beroende på bearbetningsteknik) och därför en smidig defektfria ytan kommer att vara i kontakt med den smälta kiselkvartsytan (detta bidrar till att kontrollera kontaminering och att man säkerställer stabilitet.

Utsidan är skiktad med en större nivå av bubblor som bidrar till debbelens deformationsstyrka, högre termisk stressmotstånd och termisk isolering från värmekällan för strålnings enhetlighet. De kudde lagren gör det möjligt för den att upprätthålla form och integritet, trots grads differentiella termiska gradienter som finns i kristalldragningsprocessen.

Moderna kvartskörningar har utvecklats vidare än den traditionella tvåskiktsstrukturen på grund av framsteg inom tillverkningstekniken. Många CLOCLABLES använder en tre-lagers struktur-ett transparent inre skikt, transparent mittlager som har bubblor spridda genom kvartsen och ett yttre tunt lager av bubblande kvarts. Treskiktsstrukturer erbjuder bättre mekanisk styrka, termisk hantering och kostnadsfördelar och förbättrar värmeöverföringskarakteristika. Vissa roliga tillämpliga beläggningar av alkali-metalljoner (t.ex. bariumjonlösningar) på den innersta ytan, eller använder syntetiska kvarts med hög renhet i specifika skikt, för att minska syreinnehållet, utarmat renhet och förbättra den totala kvaliteten på de dragna enkristallerna.

Tillverkning av kvartskormer för halvledare är avsedda att hållas till strikta kvalitetskontrolltoleranser vid de renheter som behövs, vilket vanligtvis är flera delar per miljard metallföroreningar. Råvarorna väljs noggrant och renas för att ta bort eventuella föroreningar. De bildas till grova dimensioner, med korrekt termisk behandling applicerad, och ytan är klar för att adressera dimensionell noggrannhet, mekanisk styrka och renlighet. Processen är inriktad på att säkerställa att de klädsel kommer att förbli tillförlitliga medan de utsätts för långvarig exponering för hög temperatur i hårda kemiska miljöer.

Prestandan för kvartens degel i halvledarproduktionen påverkar enhetligheten hos kiselkristallgitteret, defektdensiteten och syre i götet. Höga renheter och defektfria kvartskörningar, kommer att begränsa dislokationen av kristalldefekter, förbättra utbyteshastigheten och fastställa förmågan att generera skivor att främja enhetsgeometrier. Om du är en producent av HGH-Performance ICS, är fotovoltaisk kisel eller kraftelektronik, att välja och använda kvartskorskor av hög kvalitet är ett avgörande element för att etablera och optimera kostnadsutvecklingen.

SemicorexHalvledarkvartsCLECIBLES är ett viktigt hjälpmaterial för alla kiselkristalldragningssystem. De unika attributen för renhet, hög temperaturstabilitet och proprietära flerskiktsstrukturer gör detta till ett lämpligt material för att stödja strängarna i CZ-dragprocessen samtidigt som man ger konsekvent och reproducerbar prestanda. När halvledartillverkningen rör sig mot högre integration och stramare toleranser kommer de betydande mervärde fördelarna med precisionskonstruerade kvartskorska att generera större betydelse för att möjliggöra och utveckla nästa generations elektroniska tekniker.