Semicorex keramiska robotarmar av aluminiumoxid, även kallade keramiska ändeffektorer av aluminiumoxid, är de avgörande keramiska delarna som huvudsakligen används vid framställning av halvledarfronter för hantering, transport och positionering av wafers. Semicorex keramiska robotarmar av aluminiumoxid som har både pålitlig prestanda och konkurrenskraftiga kostnader kan säkerställa hög precision, kontamineringsfri och skadefri waferöverföring.
Med hög renhet, utmärkt parallellitet, exakt dimension, stabil tillförlitlighet och effektiv drift, är keramiska robotarmar de oumbärliga komponenterna som används flitigt i avancerad halvledartillverkning. Med den kontinuerliga utvecklingen av industriell automation fortsätter marknadens efterfrågan på keramiska robotarmar att växa stadigt.
Avancerade industrier, inklusive wafertillverkning, solcellsområdet och precisionselektroniksektorer, ställer stränga operativa krav på utrustningskomponenter. Semicorexaluminiumoxid keramikrobotarmar kan till fullo tillgodose dessa stränga krav på halvledartillverkning under vakuum och höga temperaturer tack vare deras överlägsna materialprestanda som visas nedan.
1. Hög mekanisk styrka och hårdhet
2. Hög smältpunkt och pålitlig termisk stabilitet
3. Exceptionell kemisk korrosion
4. Utmärkt elektrisk isoleringsprestanda
| Egenskaper |
Densitet |
Böjstyrka (20℃) |
Tryckhållfasthet (20℃) |
Hårdhet (Knoop 1000gm) |
Draghållfasthet (25℃) |
Termisk expansionskoefficient (25-1000 ℃) |
Maximal användningstemperatur |
||||||||||
| Enhet | g/cm³ |
MPa |
MPa |
GPa |
MPa |
1×10⁻⁶/℃ |
℃ |
||||||||||
| 99,5% AI2O3 |
3.9 |
350 |
2600 | 16 | 260 | 8.2 | 1750 | ||||||||||
Ovanstående data är endast för referens
1.Hög noggrannhet hantering
Semicorexaluminiumoxid keramiska robotarmarär idealiska för stabil waferhantering och högprecisionswafergrepp och -överföring i föroreningskänsliga wafertillverkningsverkstäder inom halvledar- och solcellsfälten, vilket på ett tillförlitligt sätt säkerställer waferrens renhet och spånutbyte.
2.Kemisk bearbetning
Semicorex aluminiumoxid keramiska robotarmar klarar korrosion av starka syror och alkalier och är väl lämpade för drift under aggressiva kemiska förhållanden, såsom i den kemiska industrin och nya energibatterier.
3.HögtemperaturtillverkningSemicorex aluminiumoxid keramiska robotarmar kan användas i stor utsträckning inom glasproduktion, gjutning och metallurgi eftersom de kan uppfylla kraven för att bibehålla pålitlig styrka och stabilitet under utmanande högtemperaturmiljöer.