SiC Epitaxi

Semicorex tillhandahåller anpassad tunnfilm (kiselkarbid) SiC-epitaxi på substrat för utveckling av kiselkarbidenheter.

SiC-epitaxi kan skräddarsys för att möta specifika enhetskrav genom att införliva dopämnen eller genom att odla olika kristallorienteringar. Doping av det epitaxiella skiktet med föroreningar som kväve eller aluminium möjliggör modifiering av elektriska egenskaper, såsom kontroll av bärarkoncentrationen eller skapande av p-n-övergångar.

Kvaliteten på SiC-epitaxialskiktet bedöms genom olika karakteriseringstekniker, inklusive röntgendiffraktion, svepelektronmikroskopi, atomkraftsmikroskopi och elektriska mätningar. Dessa tekniker hjälper till att utvärdera kristallstrukturen, ytmorfologin och det epitaxiella lagrets elektriska prestanda.

Semicorex kan erbjuda: SiC epitaxial wafer, GaN epitaxial wafer, Si Epitaxy, SiC wafer, etc.