Sic -lock

Semicorex Sic Lid är en viktig del som är utformad specifikt för halvledarbearbetning. Det är utformat för de tuffaste miljöerna i Epitaxy, Ion Implanting och Hightemperature Applications. Det är tillverkat av ultra-pure kiselkarbid som har extremt stabila materialegenskaper och konstruerad precision. Långvarig konsistens, hållbarhet och renlighet är de viktigaste orsakerna till att välja Semicorex SIC-lock för användning i avancerade halvledarprocesser.

Kiselkarbid (sic)har en rad egenskaper som är unika jämfört med traditionella keramik eller metalliska material. En av de viktigaste fördelarna med SIC är dess motstånd mot höga temperaturer. SIC kan behålla sin strukturella integritet och mekaniska stabilitet - under långa perioder även vid förhöjda temperaturer. Detta gör SIC idealisk för processer som kemisk ångavsättning (CVD) epitaxi eller högenergijonimplantation. Metaller och plast skulle deformera, oxidera eller förorena vid extrema temperaturer, medan SIC kommer att bibehålla sin dimensionella stabilitet och inte kommer att interagera positivt med att skivorna bearbetas.

Kemisk resistens är ett annat kännetecken för SIC -lock. Vid halvledarbearbetning är de miljöer som du kan stöta på med frätande gaser, plasma eller reaktiva kemikalier inte ovanliga. I dessa scenarier kommer SIC -ytan att ge en inert barriär för att motstå de föroreningar från att förnedra ytan över tid vilket resulterar i en längre effektiv livslängd. Denna livslängd motsvarar minskade underhållskostnader, minskad utrustning nedtid och repeterbarhet i utökade processcykler. Dessa faktorer gör SIC -locket till ett bättre alternativ för FABS som kräver kontinuerlig produktion med hög utbyte jämfört med traditionella material.

Precis som kemisk resistens är renhet också av största vikt i halvledarapplikationen. Närvaron av spårföroreningar kan ha en negativ inverkan på enhetens prestanda och utbyte. SiC -lock är tillverkat av kiselkolon med hög renhet som utesluter möjligheten att metalliska föroreningar flyter in i processmiljön. Dessutom är det garanterat att vara så rent som möjligt och stabilt eftersom det hänför sig till föroreningar och externa krafter som påverkar lockets prestanda, vilket är avgörande för att uppfylla dagens halvledarprogrammekrav, där nanometernivåobjekt måste definieras med dimensionslös precision och kontroll av föroreningar. Flexibiliteten som SIC -locket erbjuder är ytterligare värde. Varje komponent kan utformas för en specifik kunds behov med avseende på storlek, geometri och ytfinish. Detta säkerställer att locket enkelt kan integreras i och integreras med olika utrustningsmodeller och processverktyg.

Precisionen i bearbetningen avSicLock förbättrar ytterligare värdet på SIC -locken. Halvledarverktyg kräver den högsta mekaniska precisionen på grund av stora fluktuationer i dimensionell kompatibilitet och ytliga enhetlighet, till och med mindre variationer i enhetlighet och materialtjocklek kan allvarligt äventyra ett verktygs processkonsistenser, genomströmning och produktkvalitet. Via avancerad teknik inom materialbehandling har SIC -lock en planhet, ytenhet och toleranser som överskrider konventionella industristandarder, och erbjuder mekanisk tätningstjocklek av, vanligtvis tusentals tum (TIR). Den höga planheten möjliggör försegling av en mekanisk passform såväl som försäkringen för gränser för laboratoriekvalitet för att uppleva förhållanden i produktionsprocessen kan replikeras. Detta är särskilt uppenbart i FABS med hög volym där betoningen på repeterbarhet av förhållanden är avgörande för prestanda för halvledarenheter. När du bedriver precisionsteknik talar det direkt för att ge optimering. When SiC lids are in typical practical use, for example, in epitaxy where the SiC lid sits thermally and chemically stable to get in the reactor, or in an ion implantation system to resist energetic particles ejected from a high power beam of ions hitting the lid, their mechanical configurations and properties maintained their performance under constant bombardment of energetic solids, stable to operating conditions and maintenance were potential Förträdare i varför SIC-lock är avsedda att vara synonyma i Solid-State halvledarproduktion.

Semicorex sic lock representerar det bästa av både materialvetenskap och materialteknik och erbjuder bästa möjliga prestanda i halvledarmiljö, bland deras höga temperaturtoleranser, kemisk resistens, idealisk renhet, anpassade tillverkningar, exakt bearbetningsarbete, kommer SIC -locket att utföra.