Fokusringar av kiselkarbid

Fokusringar av kiselkarbidär vanligtvis installerade i reaktionskammaren på etsutrustning, placerade runt waferstödytan på den elektrostatiska chucken. Detta installationsarrangemang kan framgångsrikt fylla höjdskillnaden mellan skivans kant och elektrod, fokusera plasma i reaktionskammaren på skivans yta för att uppnå enhetlig etsning och även förhindra diffusion av plasma utåt från skivans kant för att undvika problemet med överetsning av skivans kant.

Etsningskomponenter av hög kvalitet kan ge en stabil elektrisk fältmiljö för etsningsprocessen. Semicorex fokusringar av kiselkarbid är tillverkade av högpresterandekiselkarbidmaterialvia kemisk ångavsättning. Våra fokusringar kan justera den elektriska fältfördelningen runt wafern, vilket avsevärt minskar etsningsavvikelser eller urladdningsfenomen orsakade av ojämna elektriska fält.

Halvledarskivor är lätt mottagliga för partikelförorening, så plasmaetsningsprocesser måste utföras i ultrarena jonetsningsreaktionskammare. Som den primära komponenten i etsningsutrustning kommer fokusringar av kiselkarbid i direkt kontakt med skivans kant i själva operationen, vilket också krävs för att uppfylla ultrahöga renhetsstandarder. Semicorex fokusringar av kiselkarbid erbjuder fördelarna med hög renhet och låg föroreningshalt, som exakt kan uppfylla de stränga renhetskraven för halvledaretsningsprocesser. Detta bidrar i hög grad till att minska waferdefekter och förbättrar waferproduktionsutbytet.

Under plasmaetsningsprocessen införs etsgaser såsom fluor och syre i reaktionskammaren. Etsutrustningens kemiska korrosionsbeständighet är kraftigt utmanad av den långvariga korrosion som orsakas av processgaser. Med sin överlägsna motståndsförmåga mot plasmakorrosion är kiselkarbid det optimala materialvalet för tillverkning av fokusringar. Genom att minska risken för korrosionsrelaterade skador på komponenter och minimera behovet av frekvent utbyte och underhåll, kan fokusringar av kiselkarbid avsevärt öka effektiviteten vid tillverkning av halvledarskivor.