TaC-belagd degel

Vi introducerar den CVD Tac-belagda degeln, den perfekta lösningen för tillverkare av halvledarutrustning och användare som kräver högsta kvalitet och prestanda. Våra deglar är belagda med ett toppmodernt CVD Tac-skikt (tantalkarbid), vilket ger överlägsen motståndskraft mot korrosion och slitage, vilket gör dem idealiska för användning i en mängd olika halvledarapplikationer.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Tillverkade av högkvalitativa material och belagda med den mest avancerade CVD Tac-tekniken, erbjuder våra deglar exceptionell prestanda och lång livslängd. CVD Tac-beläggningen ger ett mycket enhetligt, tätt lager som är mycket motståndskraftigt mot kemiska angrepp, nötning och termisk chock. Detta säkerställer att våra deglar bibehåller sin form och dimension även efter upprepad användning, vilket minskar behovet av frekventa byten.

Våra CVD Tac-belagda deglar är också mycket kompatibla med ett brett utbud av halvledarprocesser, inklusive kemisk ångavsättning (CVD), fysisk ångavsättning (PVD) och atomskiktsavsättning (ALD). Oavsett om du producerar mikrochips, solceller eller andra halvledarenheter kan våra deglar hjälpa dig att uppnå optimala resultat.

Parametrar för TaC-beläggning

Projekt	Parametrar
Densitet	14,3 (gm/cm³)
Emissionsförmåga	0.3
CTE (×10^-6/K)	6.3
Hårdhet (HK)	2000
Motstånd (Ohm-cm)	1×10^-5
Termisk stabilitet	<2500℃
Ändring av grafitdimension	-10~-20um (referensvärde)
Beläggningstjocklek	≥20um typiskt värde (35um±10um)

Ovanstående är typiska värden