8-tums skivhårringar

Semicorex 8-tums skivhårringar är banbrytande halvledarbearbetning av hårdvara som är avsedda att säkra och stödja kiselskivor säkert genom viktiga termiska, etsning och avsättningsprocesser. Konstruerad av högkvalitativ grafit med en tätBeläggning av kiselkarbid (SIC)För extra styrka ger skivhållarringen överlägsen termisk stabilitet, kemisk resistens och mekanisk styrka, vilket gör det idealiskt för användning i högtemperatur och frätande miljöer såsom CVD (kemisk ångavsättning), PECVD och epitaxysystem.

Nyckelfunktioner:

Materialkomposition:

Substratmaterialet ärgrafit med hög renhet, som väljs för hög värmeledningsförmåga och strukturell homogenitet. Hög densitet och enhetligkiselkarbid (SIC) filmbeläggningappliceras på ytan och uppvisar hög resistens mot oxidation och kemisk attack även vid förhöjda temperaturer över 1000 ° C. Blandningen innehåller en hållbarhet med lång varaktighet och minimal risk för förorening av skivorna.

Säker skivpositionering

Skivringen är utformad särskilt för att hålla 8-tums (200 mm) skivor och har exakta toleranser och en optimalt utformad inre geometri för att säkert greppa skivan. Ringen förblir stabil i läge under termisk cykling och gasflöde, vilket minimerar mikrorörelse som kan leda till partikelskapande eller skivbrott.

Termisk enhetlighet:

Den inneboende värmeledningsförmågan hos grafitunderlaget och stabiliteten hos SIC -beläggningen säkerställer konsekvent värmeöverföring över skivytan. Detta resulterar i konsekventa processresultat, minskad termisk stress och bättre anordningsutbyte.

Kemikalie & plasmamotstånd:

SIC -ytan skyddar grafitkärnan från hårda processplasma och gaser, vilket ger ett motstånd mot upprepade processcykler. Kemisk inerthet är särskilt fördelaktig i frätande halogeninnehållande etist- eller reaktiva gasmiljöer.

Anpassning tillgänglig:

8-tums skivhårringar kan vara skräddarsydda för att uppfylla specifika utrustning eller processkrav, dvs variationer i kantstöddesign, plats för slots och monteringskonfiguration. Våra designers arbetar med OEM och FABS för att ge högsta möjliga prestanda för varje användning.

Applikationer:

• LPCVD / PECVD / APCVD
• Epitaxiella tillväxtprocesser
• Diffusionsugnar
• Högtemperatur glödgning
• Andra halvledarens termiska bearbetningssystem

Varje 8-tums waferholder-ringar genomgår strikt inspektion som dimension noggrannhetsverifiering, beläggning vidhäftningstest och termisk cykelkvalifikation. Vår avancerade tillverkningsteknologi säkerställer enhetlig SIC -beläggningstjocklek och finaste ytfinish för att uppfylla halvledarindustrins höga krav.

Semicorex 8-tums skivhårringar (SIC-belagda grafit) är en viktig utrustning för nästa generations halvledarproduktion, vilket ger mekanisk precision, materialhållbarhet och kemisk stabilitet. Från uppgraderingar av processutrustning till konstruktion av nästa generations skivplattformar erbjuder denna produkt tillförlitlighet och prestanda som behövs för att möjliggöra dagens krävande produktionsmiljöer.