Djup-UV LED epitaxiell susceptor

Semicorex är en storskalig tillverkare och leverantör av kiselkarbidbelagd grafitsusceptor i Kina. Vi har varit tillverkare och leverantör av Deep-UV LED Epitaxial Susceptor i många år. Våra produkter har en bra prisfördel och täcker de flesta av de europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Deep-UV LED Epitaxial Susceptorer är viktiga för tillverkning av LED. Semicorex kiselkarbid (SiC)-belagd platta gör tillverkningen av högkvalitativa djupa UV LED-wafers mer effektiv. SiC Coating är en tät, slitstark kiselkarbid (SiC) beläggning. Den har höga korrosions- och värmebeständighetsegenskaper samt utmärkt värmeledningsförmåga. Vi applicerar SiC i tunna lager på grafiten med den kemiska ångavsättningsprocessen (CVD).
Oavsett vad dina specifika krav kan vara, kommer vi att identifiera den bästa lösningen för MOCVD-epitaxi såväl som för halvledar- och LED-industrin.
Vår Deep-UV LED Epitaxial Susceptor är designad för att uppnå det bästa laminära gasflödesmönstret, vilket säkerställer en jämn termisk profil. Detta hjälper till att förhindra kontaminering eller spridning av föroreningar, vilket säkerställer högkvalitativ epitaxiell tillväxt på waferchipset.
Kontakta oss idag för att lära dig mer om vår Deep-UV LED Epitaxial Susceptor.

Parametrar för Deep-UV LED Epitaxial Susceptor

Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning
SiC-CVD-egenskaper
Kristallstruktur	FCC Î² fas
Densitet	g/cm³	3.21
Hårdhet	Vickers hårdhet	2500
Kornstorlek	Î¼m	2~10
Kemisk renhet	%	99.99995
Värmekapacitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Felexural styrka	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt böj, 1300â)	430
Termisk expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Värmeledningsförmåga	(W/mK)	300

Funktioner hos Deep-UV LED Epitaxial Susceptor

- Lägre våglängdsavvikelse och högre spånutbyte
- Både grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet har en hög värmeledningsförmåga och utmärkta värmefördelningsegenskaper.
- Snävare dimensionstoleranser leder till högre produktutbyte och lägre kostnader
- Undvik att skala av och säkerställ beläggning på alla ytor
Oxidationsbeständighet vid hög temperatur: Stabil vid höga temperaturer upp till 1600°C
Hög renhet: tillverkad av CVD kemisk ångavsättning under högtemperaturkloreringsförhållanden.
Korrosionsbeständighet: hög hårdhet, tät yta och fina partiklar.
Korrosionsbeständighet: syra, alkali, salt och organiska reagenser.