Epi-SiC-receptor

Semicorex Epi-SiC Susceptor är ett sammanflöde av uthållighet vid höga temperaturer, kemisk tröghet och överlägsen termisk diffusion, den står som ett mönster av motståndskraft och effektivitet inför de intensiva förhållanden som är synonymt med epitaxiella tillväxtsträvanden. Appliceringen av en SiC-beläggning förstärker avsevärt de termiska egenskaperna hos Epi-SiC-susceptorn. Denna förbättring underlättar den enhetliga termiska fördelningen som är nödvändig för skivornas uppvärmning, avgörande för avsättningen av konsekventa epitaxiella skikt av hög kvalitet över halvledarskivor.

Skräddarsydd för att möta de höga kraven från epitaxiella processer för wafer, stödjer Epi-SiC Susceptor den sömlösa transporten av wafers i ugnsmiljön. Dess robusta design är ett bålverk mot skivförskjutning eller kompromiss, och minskar därigenom förekomsten av skador under de kritiska stadierna av epitaxialskiktets utveckling. Dessutom fungerar Epi-SiC-susceptorn som en skyddande barriär för grafitsubstratet under, och skyddar det från de kemiska interaktioner och nötning som epitaxiella processer kan inducera.

Sammanslagningen av en fjädrande grafitkärna med en skyddande SiC-beläggning stärker inte bara Epi-SiC Susceptors prestandamått utan förlänger också dess livslängd avsevärt. Resultatet är en investering som ger utdelning i form av varaktiga driftsbesparingar för halvledarproduktionsföretag, vilket positionerar Epi-SiC Susceptor som ett klokt val för dem som vill optimera sin tillverkningsverksamhet.