Horisontell waferkassett

Materialegenskaper

Semicorex Horizontal Wafer Cassette är ett viktigt verktyg inom halvledarindustrin för att skydda och hantera wafers i olika produktionsfaser. Ofta kallade waferbärare, dessa kassetter är designade för att hålla och flytta flera wafers av samma storlek. De säkerställer utmärkt prestanda i en mängd olika produktionsförhållanden genom att uppfylla specifika processkrav, såsom termisk bearbetning, och är tillgängliga i ett brett utbud av material.

Olika materialval

Horisontella waferkassetter finns i en mängd olika högpresterande material för att tillfredsställa de olika kraven för tillverkning av halvledarprodukter. Dessa ger enastående kemisk resistens och termisk stabilitet och inkluderar PVDF, ECTFE Halar, PFA Teflon och PTFE Teflon. Tillval av rostfritt stål som 304L och 316 rekommenderas för applikationer som kräver ökad mekanisk hållfasthet och motståndskraft mot korrosion. Naturlig polypropen används också på grund av dess ekonomiska och lätta egenskaper, som möjliggör flexibilitet i appliceringen samtidigt som integriteten hos waferhanteringsproceduren bevaras.

Funktioner i avancerad design

Med egenskaper som kan justeras för att möta vissa driftskrav är horisontella waferkassetter noggrant konstruerade. Dessa består av sidoöppningsprofiler, substratkontaktpunkter, substratets stigning och avstånd samt storlekar och former som kan ändras. Deras anpassningsförmåga i en mängd olika processer ökas av deras mångsidighet i substratorientering och förmåga att hantera en rad olika substratstorlekar. Dessutom kan automationsfunktioner och kassetthanteringsmöjligheter, såsom löstagbara handtag för ökad bekvämlighet, läggas till dessa kassetter.

Ansökningar

Vid halvledartillverkning är användningen av horisontella waferkassetter avgörande för att garantera säker och effektiv hantering av wafers i en mängd olika procedurer.

Horisontella waferkassetter är gjorda av robusta, högkvalitativa material och erbjuder ett starkt skydd mot fysisk skada och kontaminering, två stora problem i halvledarmiljöer. Arkitekturen på kassetterna skyddar de ömtåliga skivorna under lagring och transport genom att minska exponeringen för eventuella föroreningar.

Förbättrad rengöring och torkning

Bättre tvätt- och torkresultat möjliggörs av den enorma öppningsytan i designen av horisontella waferkassetter. Denna egenskap är avgörande för att bevara waferns renhet, vilket minskar risken för defekter och förbättrar kalibern hos de färdiga halvledarenheterna.

Effektivitet av kemiskt flöde och bearbetning

För att minimera materialfällor och maximera kemisk genomströmningsdynamik är horisontella waferkassetter designade. För att förbättra kemikalieflödet och garantera fullständig täckning och effektiv bearbetning i kemikaliebad kan ett antal extra funktioner läggas till.

Säker transport och uppriktning av wafers

Designen av den horisontella waferkassetten kännetecknas av exakt waferinriktning, vilket garanterar att wafers hålls stadigt på plats under transport. Detta minskar risken för brott eller felinställning, vilket kan resultera i dyra brister eller förseningar i processen. Waferhantering måste göras säkert för att bevara integriteten hos halvledartillverkningsprocessen.

Effektivitet i arbetsflöde och ergonomi

Horisontella waferkassetter är lätta att använda och effektiva tack vare sin ergonomiska design, vilket effektiviserar lastnings- och lossningsproceduren. I renrumsmiljöer förbättrar denna enkla användning arbetsflödeseffektiviteten, vilket möjliggör effektivare processer och mindre hanteringstid. Tillverkare av halvledare kan öka effektiviteten och upprätthålla strikta renhetsstandarder genom att förenkla dessa procedurer.