LPE del

Semicorex LPE-delar är högpresterande SiC-belagda komponenter speciellt designade för användning i SiC-epitaxprocessen. Dessa komponenter är konstruerade för att motstå de krävande förhållandena för SiC-kristalltillväxt, vilket ger överlägsen termisk stabilitet, kemisk beständighet och mekanisk styrka. När du väljer Semicorex's LPE-delar är du garanterad exceptionell hållbarhet, precision och en skräddarsydd lösning för dina SiC-epitaxiprocessbehov.

Semicorex LPE-delar är tillverkade med avancerade material och exakta tillverkningstekniker, vilket säkerställer konsekvens och tillförlitlighet i varje enhet. Beläggningens fysikaliska och kemiska egenskaper ställer höga krav på hög temperaturbeständighet och korrosionsbeständighet, vilket direkt påverkar produktens utbyte och livslängd. SiC-material har hög hållfasthet, hög hårdhet, låg värmeutvidgningskoefficient och god värmeledningsförmåga. Det är ett viktigt högtemperaturstrukturmaterial och högtemperaturhalvledarmaterial. Det appliceras på grafitbaser. Dess fördelar är:

1) SiC är korrosionsbeständig och kan helt linda grafitbasen och har god densitet för att undvika skador av korrosiva gaser. 2) SiC har hög värmeledningsförmåga och hög bindningsstyrka med grafitbasen, vilket säkerställer att beläggningen inte är lätt att falla av efter att ha upplevt flera högtemperatur- och lågtemperaturcykler. 3) SiC har god kemisk stabilitet för att undvika fel på beläggningen i en hög temperatur och korrosiv atmosfär. Dessutom kräver epitaxiella ugnar av olika material grafitbrickor med olika prestandaindikatorer. Matchningen av den termiska expansionskoefficienten för grafitmaterial kräver anpassning till växttemperaturen för den epitaxiella ugnen. Till exempel är temperaturen för kiselkarbidepitaxi hög, och en bricka med en hög värmeutvidgningskoefficientanpassning krävs. Den termiska expansionskoefficienten för SiC är mycket nära den för grafit, vilket gör den lämplig som det föredragna materialet för ytbeläggning av grafitbasen.

Tillämpningar i SiC Epitaxy Process

SiC-epitaxiprocessen är ett kritiskt steg i produktionen av högkvalitativa SiC-skivor som används för halvledarenheter, inklusive kraftelektronik och optoelektronik. LPE-delar, särskilt de med SiC-beläggningar, spelar en viktig roll i den exakta kontrollen av temperatur och kemiska reaktioner i reaktorn. Dessa komponenter är strategiskt placerade i reaktorn för att underlätta optimal wafertillväxt samtidigt som renheten och enhetligheten hos SiC-kristallerna bibehålls.

På Semicorex förstår vi att varje SiC-epitaxprocess har unika krav. Det är därför våra LPE-delar kan anpassas helt för att möta de specifika behoven för din verksamhet. Oavsett om det är storlek, form eller beläggningstjocklek, arbetar vårt ingenjörsteam nära kunderna för att leverera komponenter som optimerar deras produktionsprocesser.

Den högkvalitativa SiC-beläggningen som appliceras på våra delar säkerställer också överlägsen hållbarhet. Till skillnad från konventionella material erbjuder SiC en längre livslängd under tuffa driftsförhållanden, vilket minskar frekvensen av underhåll och stillestånd. Denna livslängd leder till lägre driftskostnader och ökad effektivitet för halvledartillverkare.

Semicorex LPE-delar är designade med precision och konstruerade för att möta de stränga kraven för SiC-epitaxiprocessen. Våra komponenter tillverkas med den senaste tekniken, vilket säkerställer att de ger oöverträffad prestanda och lång livslängd. Genom att välja Semicorex väljer du en partner som förstår komplexiteten i halvledartillverkning och som är engagerad i att leverera pålitliga produkter av hög kvalitet som förbättrar din produktionskapacitet.

Semicorex LPE delar, med sinaSiC-beläggning, är det idealiska valet för att förbättra prestandan och livslängden hos SiC-epitaxiereaktorer. Dessa komponenter ger överlägsen termisk stabilitet, kemisk beständighet och mekanisk styrka, vilket säkerställer att din SiC-kristalltillväxtprocess löper smidigt och effektivt. Med tillgängliga anpassningsalternativ erbjuder Semicorex en skräddarsydd lösning som uppfyller dina specifika processkrav, vilket gör oss till den pålitliga partnern för halvledartillverkare över hela världen.