Det mest grundläggande steget i alla processer är oxidationsprocessen. Oxidationsprocessen är att placera kiselskivan i en atmosfär av oxidanter som syre eller vattenånga för värmebehandling vid hög temperatur (800~1200 ℃), och en kemisk reaktion sker på kiselskivans yta för att bilda en oxidfilm (S......
Läs merTillväxten av GaN-epitaxi på GaN-substrat utgör en unik utmaning, trots materialets överlägsna egenskaper jämfört med kisel. GaN-epitaxi erbjuder betydande fördelar när det gäller bandgapbredd, värmeledningsförmåga och elektriskt nedbrytningsfält jämfört med kiselbaserade material. Detta gör antagan......
Läs merHalvledare med stort bandgap (WBG) som kiselkarbid (SiC) och galliumnitrid (GaN) förväntas spela en allt viktigare roll i kraftelektronikenheter. De erbjuder flera fördelar jämfört med traditionella Silicon (Si)-enheter, inklusive högre effektivitet, effekttäthet och växlingsfrekvens. Jonimplantatio......
Läs mer