> Nyheter > industri nyheter

industri nyheter

Varför Focus Ring är oumbärlig för etsningsutrustning?

Fokusring, även kallad kompensationsring eller inneslutningsring, är en oumbärlig komponent i etsningsutrustning, speciellt plasmatorretsningsutrustning. Precisionsetsningsprocesser i nanoskala i modern halvledartillverkning skulle inte vara möjliga utan den. Användningen av fokusring säkerställer e......

Läs mer

Vilka roller spelar glödgningsprocessen?

Genom att exakt reglera uppvärmnings- och kylprofiler kan glödgningsprocessen aktivera dopningsatomer, reparera gallerskador, lindrar inre spänningar och förbättrar den elektriska tillförlitligheten hos wafers. Dessa kritiska prestandaförbättringar lägger en solid grund för efterföljande waferbearbe......

Läs mer

Keramiska vakuumchuckar

Keramiska vakuumchuckar är verktyg som används för att klämma och bära halvledarwafers vid tillverkning av halvledarwafer. De har hög planhet och parallellitet, tät och enhetlig struktur, hög hållfasthet, god luftgenomsläpplighet, enhetlig adsorptionskraft och enkel trimning. De är lämpliga för proc......

Läs mer

Optimering av termisk fältdesign för SiC epitaxial ugn (hot-wall CVD reaktor)

Kärnmålet är att uppnå enhetlighet för skivytans temperatur (≤±0,5–5 ℃) och temperatur/flödesfältstabilitet, och därigenom förbättra enhetligheten i epitaxiell skikttjocklek (<3%), doping uniformity (<8%), reducing defect density, and increasing growth rate (>60 μm/h).

Läs mer

Nyckelteknologier för kol/kolkompositmaterial

C/C-kompositer har många utmärkta egenskaper och är för närvarande de enda kompositmaterialen som kan arbeta vid höga temperaturer över 2600°C i inerta atmosfärer, vilket gör dem allmänt användbara inom flyg-, vapen-, kärnenergi-, metallurgi- och kemisk industri.

Läs mer

Kort introduktion till tillverkningsprocessen för SiC Wafer

Som det oumbärliga substratmaterialet i den banbrytande halvledarindustrin, uppvisar kiselkarbidskivor utmärkta termiska och elektriska egenskaper, med breda användningsmöjligheter i högtemperatur-, högfrekvens-, högeffekts- och strålningsbeständiga integrerade elektroniska enheter.

Läs mer

<1 2 3 4 5...46 >