PFA Wafer Carriers

Semicorex PFASkivbärareär högpresterande transportörer designade för säker hantering, lagring och transport av halvledarskivor i en ultra-ren miljö. Tillverkningen av avancerade halvledare säkerställer att PFA -skivbärare erbjuder oöverträffad kemisk resistens, termisk stabilitet och partikelkontroll från regeringens integritet och renlighet under tillverkningen till sluttestning.

Dessa skivbärare är tillverkade av ny PFA och visar stort motstånd mot hårda kemikalier som starka syror, baser och lösningsmedel som vanligtvis används vid rengöring och etsning av skivor. PFA: s mycket låga jonutlakning och utgasande egenskaper gör det till det föredragna materialet för viktiga renrumsuppgifter, där till och med små mängder föroreningar kan påverka enhetsutbytet.

PFA -skivbärare är tillverkade i rena rum och arbetar med klass 1 (ISO klass 3) rena rumstandarder. Den släta, non-stick ytan hos PFA minimerar partikelproduktion och vidhäftning, vilket förhindrar förorening från rester eller partiklar. Dessutom underlättar PFA: s hydrofoba natur grundlig sköljning och snabb torkning, vilket ytterligare minskar risken för korsföroreningar under våta bearbetningssteg.

Varje PFA -skivbärare är exakt gjord för att se till att säkert och till och med stöd av skivor under flyttning och behållning. Räskade slots hjälper skivor med liten kontakt, minskar stressen och flisar på kanterna på skivorna. Bärare finns i många former för att passa olika storlekar på skivor som inkluderar 100 mm, 150 mm, 200 mm och 300 mm diametrar. Valfria toppar och snäva låssätt ger extra säkerhet mot chock för varorna, vibrationer och exponering för miljön.

På grund av PFA: s utmärkta termiska motstånd upp till 260 ° C är den kompatibel med högtemperaturprocesser såsom diffusion, oxidation och kemisk ångavsättning CVD. Bäraren behåller sin strukturella integritet under upprepad termisk cykling och är därför lämplig för både sats- och automatiserade bearbetningsmiljöer.

PFA-skivbärare har breda tillämpningar inom skivrengöring, våt etsning, fotolitografi CMP och andra front-end och back-end-processer i IC-tillverkning. Deras robusta design och renhet gör dem idealiska för användning i FAB: er, FoU -laboratorier och OEM -utrustning som kräver strikta föroreningskontrollprotokoll.

AnpassadPFA Skivbärarekan utvecklas för att uppfylla specifika automatiseringskrav, inklusive robothantering, spårsystem och vertikal/horisontell transport. Transportörer är helt kompatibla med standardhanteringsutrustning och tillverkningsverktyg för halvledar.