Planetär

Semicorex Planetary Susceptor är en oumbärlig komponent för halvledarens epitaxi -reaktorer, speciellt konstruerade för AIXTRON G5+ -utrustning. Konstruerad av grafit med hög renhet ochbelagd med kiselkarbid (sic), Denna susceptor garanterar överlägsen termisk stabilitet, exceptionell kemisk resistens och oöverträffad prestanda i högtemperaturmiljöer.

AIXTRON G5+ Epitaxy Reactor står som ett riktmärke i branschen för GAN, SIC och andra blandningsprocesser för halvledartillväxt. Planetens susceptor är avgörande för att optimera gasflödet, säkerställa exakt skivrotation, upprätthålla exakt temperaturkontroll och uppnå enhetlig avsättning av epitaxiella skikt. Dess innovativa design förbättrar processen för repeterbarhet avsevärt, vilket gör det till det ideala valet för produktionsmiljöer med hög volym.

Nyckelfunktioner  

- Avancerad materialkomposition: Tillverkad av grafit med hög renhet med en SIC-beläggning, vilket ger förbättrad hållbarhet och motstånd mot hårda processförhållanden.  

- Optimerad termisk prestanda: säkerställer enhetlig värmefördelning, kritisk för högprecision av epitaxial skikttillväxt.  

- Kemisk resistens: SIC -beläggningen förhindrar grafitoxidation, förlänger livslängden för susceptorn och upprätthåller processrenheten.  

- Precisionsteknik: Utformad för att uppfylla de stränga kraven i AIXTRON G5+ -system, säkerställa sömlös integration och optimal reaktoreffektivitet.  

- Hög yta enhetlighet: Minimerar partikelföroreningar, stöd för överlägsen skivkvalitet och högre utbyte inom halvledartillverkning.  

Fördelar med vår planetariska susceptor  

- förlängd livslängd:SIC -beläggningminskar slit och tår, vilket resulterar i lägre ersättningsfrekvens och minskade driftskostnader.  

- Förbättrad processstabilitet: säkerställer konsekvent uppvärmning och minimala termiska gradienter, vilket leder till högkvalitativ skivaproduktion.  

- Kompatibilitet och anpassning: Finns i standard och anpassade mönster för att uppfylla specifika AIXTRON G5+ -processkrav.  

GrafitDelar spelar en oundgänglig och mycket viktig roll i halvledarprocessen. Kvaliteten på grafitmaterial har en stor inverkan på kvaliteten på färdiga produkter. Vår grafitbatchkonsistens och materiell homogenitet kan kontrolleras och garanteras genom produktionsprocessen.

1. Liten satsproduktion, karboniseringsugnen använder bara en liten ugn med bara 50 kubikmeter

2. Varje materialstycke övervakas och spåras

3. Multi-punkts temperaturövervakning i ugnsutrymmet för att säkerställa att temperaturskillnaden hålls i ett mycket litet intervall

4. Multi-punkts temperaturövervakning på materialet för att säkerställa att temperaturskillnaden hålls i ett mycket litet intervall

Semicorex Planetary Susceptor är premiumlösningen för Aixtron G5+ -reaktorer, som erbjuder enastående termisk stabilitet, kemisk resistens och precisionsprestanda. Den är konstruerad för de mest krävande halvledartillverkningsprocesserna och driver högre skivavkastningar, minimerar föroreningsrisk och förlänger livslängden. Uppgradera ditt epitaxysystem med en toppnivå för oöverträffad resultat.