Porös grafit med TaC-beläggning

Semicorex porös grafit med TaC-beläggning kombinerar de unika egenskaperna hos porös grafit med de skyddande och förbättrande egenskaperna hos en TaC-beläggning, vilket erbjuder betydande förbättringar jämfört med traditionella material som används i högtemperaturdeglar.

Grafit och porös grafit, även om de används allmänt för sin termiska stabilitet och elektriska ledningsförmåga, utgör betydande utmaningar i högtemperaturmiljöer. Särskilt porös grafit är att föredra för dess höga permeabilitet, vilket möjliggör bättre gasflöde och jämn temperaturfördelning. Men dess höga porositet gör den mekaniskt svag, vilket leder till svårigheter att bearbeta och forma materialet exakt. Dessutom kan den porösa strukturen resultera i partikelavfall, vilket förorenar SiC-kristallerna. Porös grafit är också känslig för kemisk etsning och nedbrytning under höga temperaturer och reaktiva miljöer, vilket äventyrar degelns integritet. På samma sätt, medan Tantalkarbid (TaC)-pulver ofta används för att belägga eller blanda med grafit för att förbättra dess egenskaper, kan deras enhetliga applicering och vidhäftning vara utmanande, vilket leder till ojämna ytor och potentiell kontaminering.

Produkten porös grafit med TaC-beläggning övervinner effektivt ovanstående utmaningar genom att integrera de bästa egenskaperna hos båda materialen:

Förbättrad mekanisk styrka: TaC-beläggningen ökar avsevärt den mekaniska hållfastheten hos den porösa grafiten, vilket gör den porösa grafiten med TaC-beläggning lättare att bearbeta och forma utan att kompromissa med materialets strukturella integritet.

Minskad partikelavgivning: TaC-beläggningen bildar ett skyddande lager över den porösa grafiten, vilket minskar sannolikheten för partikelavgivning och kontaminering av SiC-kristallerna.

Förbättrad kemisk beständighet: TaC är mycket resistent mot kemisk etsning och nedbrytning, vilket ger en hållbar barriär som skyddar den porösa grafiten från reaktiva gaser och högtemperaturmiljöer.

Termisk stabilitet och konduktivitet: Både grafit och TaC uppvisar utmärkt termisk stabilitet och konduktivitet. Kombinationen av porös grafit med TaC-beläggning säkerställer att degeln bibehåller jämn temperaturfördelning, avgörande för den defektfria tillväxten av SiC-kristaller.

Optimerad permeabilitet: Grafitens inneboende porositet möjliggör effektivt gasflöde och termisk hantering, medan TaC-beläggningen säkerställer att denna permeabilitet bibehålls utan att kompromissa med materialets integritet.

Semicorex porös grafit med TaC-beläggning representerar ett betydande framsteg i material som används för SiC-kristalltillväxt. Genom att ta itu med de mekaniska, kemiska och termiska utmaningarna förknippade med traditionella grafit- och TaC-pulver, säkerställer porös grafit med TaC-beläggning högre kvalitet SiC-kristaller med färre defekter. Kombinationen av porös grafits permeabilitet och TaC:s skyddande egenskaper erbjuder en robust lösning för högtemperaturapplikationer, vilket gör det till ett väsentligt material i produktionen av avancerade halvledare och elektroniska enheter.