Semicorex porös tantalkarbidkeramik är den högpresterande porösa keramen som konstruerats specifikt i den fysiska ångtransportprocessen (PVT). Dess speciella porösa struktur och utmärkta egenskaper spelar en viktig roll för att underlätta tillväxten av högkvalitativ kiselkarbidkristall. Genom att välja Semicorex får du idealiska porösa keramiska lösningar med jämn kvalitet och stabil prestanda för avancerad halvledartillverkning.
Semicorex porös tantalkarbidkeramik är ett keramiskt material med ultrahög temperatur med en smältpunkt runt 3880 ℃, som kan bibehålla stabil prestanda i utmanande högtemperatur- och högkorrosionsmiljöer tack vare följande utmärkta prestandaegenskaper.
Den maximala arbetstemperaturen för Semicorex poröstantalkarbid keramikkan vara upp till 3200 ℃, och den kan fungera stabilt vid högtemperaturtillväxt av kiselkarbidkristaller under lång tid utan någon deformation eller uppmjukning.
Semicorex porös tantalkarbidkeramik uppvisar bättre korrosionsbeständighet och oxidationsbeständighet än konventionell keramik. Det kan effektivt motstå korrosion av högtemperatursyre och Si-ånga i kristalltillväxtprocessen.
Semicorex porös tantalkarbidkeramik har likformigt fördelade inre porer, med en porositet mellan 10-60 % (anpassningsbar) och en genomgående porhastighet på över 98 %. Denna speciella struktur gör det möjligt för ångfaselement som Si och C att flyta och diffundera smidigt inuti kristalltillväxtugnen, vilket i hög grad underlättar tillväxten av högkvalitativa kristaller.
Under tillväxt av kiselkarbidkristaller via PVT-processen, fungerar Semicorex porös tantalkarbidkeram främst i ångfaselementfiltrering, ugnstemperaturgradientreglering och gasmaterialflödesledning. Till skillnad från konventionella porösa TaC-belagda grafitmaterial visar Semicorex porös tantalkarbidkeramik tydliga fördelar: Den eliminerar porösaTaC-belagd grafitmaterials nackdel med en låg genomgående porhastighet som orsakas av beläggningsbehandling, samtidigt som man undviker porösa TaC-belagda grafitmaterials smärtpunkt för beläggningsavskalning som uppstår under drift. Genom att använda Semicorex porös tantalkarbidkeramik kan du effektivt hämma kolinneslutningsdefekter i kiselkarbidkristalltillväxt, och därigenom avsevärt förbättra kristalltillväxtkvaliteten och produktutbytet.