Produkter

Semicorex's ICP-etsningswaferhållare är den perfekta lösningen för högtemperaturwaferhanteringsprocesser som epitaxi och MOCVD. Med en stabil oxidationsbeständighet vid hög temperatur på upp till 1600°C säkerställer våra bärare jämna termiska profiler, laminära gasflödesmönster och förhindrar kontaminering eller diffusion av föroreningar.

Välj Semicorex ICP Plasma Etching System för PSS Process för högkvalitativa epitaxi- och MOCVD-processer. Vår produkt är konstruerad speciellt för dessa processer och erbjuder överlägsen värme- och korrosionsbeständighet. Med en ren och slät yta är vår bärare perfekt för att hantera orörda wafers.