Semicorex hållbara fokusringar för halvledarbearbetning är designade för att motstå de extrema miljöerna i plasmaetsningskammare som används vid halvledarbearbetning. Våra fokusringar är gjorda av högren grafit belagd med en tät, slitstark kiselkarbid (SiC) beläggning. SiC-beläggningen har höga korrosions- och värmebeständighetsegenskaper, samt utmärkt värmeledningsförmåga. Vi applicerar SiC i tunna lager på grafiten med den kemiska ångavsättningsprocessen (CVD) för att förbättra livslängden på våra fokusringar.
Läs merSkicka förfrågan