> Produkter > Keramisk > Kiselkarbid (SiC) > Hållbara fokusringar för halvledarbearbetning

Produkter

Nya produkter

Hållbara fokusringar för halvledarbearbetning

Semicorex hållbara fokusringar för halvledarbearbetning är designade för att motstå de extrema miljöerna i plasmaetsningskammare som används vid halvledarbearbetning. Våra fokusringar är gjorda av högren grafit belagd med en tät, slitstark kiselkarbid (SiC) beläggning. SiC-beläggningen har höga korrosions- och värmebeständighetsegenskaper, samt utmärkt värmeledningsförmåga. Vi applicerar SiC i tunna lager på grafiten med den kemiska ångavsättningsprocessen (CVD) för att förbättra livslängden på våra fokusringar.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Våra hållbara fokusringar för halvledarbearbetning är designade för att förbättra etsningslikformigheten runt skivans kant eller omkrets, vilket minimerar kontaminering och oplanerat underhåll. De är mycket stabila för snabb termisk glödgning (RTA), snabb termisk bearbetning (RTP) och hård kemisk rengöring.

På Semicorex fokuserar vi på att tillhandahålla högkvalitativa, kostnadseffektiva hållbara fokusringar för halvledarbearbetning, vi prioriterar kundnöjdhet och tillhandahåller kostnadseffektiva lösningar. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner, leverera högkvalitativa produkter och exceptionell kundservice.

Kontakta oss idag för att lära dig mer om våra hållbara fokusringar för halvledarbearbetning.

Parametrar för hållbara fokusringar för halvledarbearbetning

Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning
SiC-CVD-egenskaper
Kristallstruktur	FCC β-fas
Densitet	g/cm³	3.21
Hårdhet	Vickers hårdhet	2500
Kornstorlek	μm	2~10
Kemisk renhet	%	99.99995
Värmekapacitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Felexural styrka	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt böj, 1300 ℃)	430
Termisk expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Värmeledningsförmåga	(W/mK)	300