PSS Handling Carrier för Wafer Transfer

PSS Handling Carrier för Wafer Transfer från Semicorex är designad för att möta de höga temperaturer och hårda kemiska rengöringskraven för epitaxiell tillväxt och waferhanteringsprocesser. Vår ultrarena grafitbärare är idealisk för tunnfilmsavsättningsfaser som MOCVD, epitaxisusceptorer, pannkaka eller satellitplattformar och bearbetning av waferhantering såsom etsning. Den SiC-belagda bäraren har utmärkta värmefördelningsegenskaper, hög värmeledningsförmåga och är kostnadseffektiv.

Kontakta oss idag för att lära dig mer om vår PSS Handling Carrier for Wafer Transfer.

Parametrar för PSS-hanteringsbärare för waferöverföring

Funktioner hos PSS Handling Carrier för Wafer Transfer

- Undvik att skala av och säkerställ beläggning på alla ytor

Oxidationsbeständighet vid hög temperatur: Stabil vid höga temperaturer upp till 1600°C

Hög renhet: tillverkad av CVD kemisk ångavsättning under högtemperaturkloreringsförhållanden.

Korrosionsbeständighet: hög hårdhet, tät yta och fina partiklar.

Korrosionsbeständighet: syra, alkali, salt och organiska reagenser.

- Uppnå det bästa laminära gasflödesmönstret

- Garanterar jämnhet av termisk profil

- Förhindra all kontaminering eller spridning av föroreningar