Silicon Etch Plate för PSS-etsningsapplikationer

Semicorex Silicon Etch Plate för PSS-etsningstillämpningar är konstruerad för de mest krävande epitaxiutrustningstillämpningarna. Vår ultrarena grafitbärare tål hårda miljöer, höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Den SiC-belagda bäraren har utmärkta värmefördelningsegenskaper, hög värmeledningsförmåga och är kostnadseffektiv.

Parametrar för Silicon Etch Plate för PSS-etsningstillämpningar

Funktioner hos Silicon Etch Plate för PSS-etsningstillämpningar

- Undvik att skala av och säkerställ beläggning på alla ytor

Oxidationsbeständighet vid hög temperatur: Stabil vid höga temperaturer upp till 1600°C

Hög renhet: tillverkad av CVD kemisk ångavsättning under högtemperaturkloreringsförhållanden.

Korrosionsbeständighet: hög hårdhet, tät yta och fina partiklar.

Korrosionsbeständighet: syra, alkali, salt och organiska reagenser.

- Uppnå det bästa laminära gasflödesmönstret

- Garanterar jämnhet av termisk profil

- Förhindra all kontaminering eller spridning av föroreningar