Satellitplatta

Semicorex satellitplatta är en viktig skivbärare under den epitaxiella tillväxtprocessen, vilket garanterar enhetlig avsättning och optimal processeffektivitet. Konstruerad av hög renhetsgrafit och belagd med ett robust kiselkarbidskikt (SIC) -skiktet, levererar denna platta exceptionell termisk stabilitet, kemisk resistens och mekanisk styrka, vilket stärker dess position som en oundgänglig komponent i högpresterande halvledartillverkning.

Med en grafitbas med hög renhet utmärker satellitplattan i värmeledningsförmåga och strukturell integritet. DeSIC -beläggningÖkar betydligt sin hållbarhet, ger hög temperaturresistens, kemisk inerthet och dramatiskt minskar partikelproduktionen. Denna kraftfulla kombination säkerställer att plattan tål hårda bearbetningsförhållanden medan den konsekvent presterar på en hög nivå. Grafitbasen underlättar effektiv värmeöverföring, vilket säkerställer enhetlig temperaturfördelning över skivan, medan SIC -beläggningen skyddar mot frätande processgaser, förhindrar förorening och förlänger livslängden. Dessutom minimerar SIC-ytan partikelfrisättning, vilket är avgörande för att uppnå högavkastningstillverkning.

Satellitplattan är utformad specifikt för sömlös integration med AIXTRON G5+ -system och garanterar exakt skivpositionering och rotationsbalans, nödvändig för att upprätthålla stabila termiska förhållanden och minska defekthastigheter. Plattans avancerade materialkomposition förlänger inte bara sin livslängd utan sänker också betydligt driftskostnader och förbättrar tillverkningsproduktiviteten.

Satellitplattan är främst använd i metallorganisk kemisk ångavsättning (MOCVD), är avgörande för växande epitaxiella lager på halvledarskivor. Det spelar en nyckelroll i produktionen av avancerade halvledarenheter, inklusive lysdioder, SIC och GAN-baserade kraftelektronik, fotoniska och optoelektroniska komponenter och högfrekventa RF-enheter. Genom att säkerställa stabila termiska förhållanden och minimera föroreningar garanterar satellitplattan konsekvent epitaxialskiktstillväxt, vilket leder till förbättrad skivhantering och högre avkastningshastigheter. Dess optimerade design säkerställer skivstöd effektivt, minskar defekterna och säkerställer precision i halvledarbearbetningsstegen.

Semicorex satellitplatta fungerar som en väsentlig komponent för Aixtron G5+ epitaxi -reaktorer, vilket ger oöverträffad hållbarhet, kemisk resistens och termisk prestanda. Dess avancerade materialkomposition och teknik gör det avgörande för halvledartillverkningsprocessen, vilket säkerställer produktion av högavkastning och högkvalitativa skivor. Investera i satellitplattan för att höja din halvledartillverkning och uppnå excellens i epitaxiella tillväxtprocesser.