SiC Keramisk Wafer Båt

Semicorex SiC Ceramic Wafer Boat utmärker sig genom en unik kombination av materialegenskaper som gör den idealisk för påfrestningarna inom halvledar- och fotovoltaisk tillverkning:

Orubblig stabilitet vid hög temperatur:Waferbearbetning involverar ofta extrema temperaturer som pressar konventionella material till sina gränser. SiC Ceramic Wafer Boat uppvisar exceptionellt motstånd mot höga temperaturer och bibehåller sin strukturella integritet och mekaniska egenskaper även vid temperaturer som överstiger 1650°C (3000°F). Detta möjliggör användning av dem i kritiska processer som diffusion och  glödgning, där exakt temperaturkontroll och waferstabilitet är av största vikt.

Ointagbar fästning mot korrosion:De starka kemikalierna och aggressiva ämnen som används vid tillverkning av halvledar- och solceller utgör en betydande utmaning för materialintegriteten. SiC Ceramic Wafer Boat uppvisar överlägsen korrosionsbeständighet jämfört med de flesta metaller och andra keramer, och tål långvarig exponering för ett brett utbud av syror, lösningsmedel, salter och organiska föreningar. Denna tröghet säkerställer båtens livslängd, förhindrar kontaminering från materialnedbrytning och säkerställer renheten i kritiska processsteg.

Enkel renhet för kompromisslös renhet:Att bibehålla orörda waferytor är avgörande för att uppnå högt utbyte och prestanda. SiC Ceramic Wafer Boats icke-porösa yta och motståndskraft mot kemiska angrepp gör den exceptionellt lätt att rengöra. Föroreningar tas lätt bort, vilket förhindrar korskontaminering mellan processkörningar och säkerställer den orörda miljö som krävs för högpresterande halvledare och solcellsenheter.

Motståndskraft mot termisk och mekanisk stress:Waferbearbetning innebär ofta snabba temperaturförändringar och mekanisk hantering som kan orsaka stress och skada känsliga material. SiC Ceramic Wafer Boats robusta mekaniska egenskaper, inklusive hög hårdhet och exceptionell värmechockbeständighet, säkerställer dess strukturella integritet även under krävande förhållanden. Detta minimerar risken för partikelgenerering eller waferskador, vilket bidrar till högre avkastning och jämn produktkvalitet.

Halkfri transport för orubblig precision:Exakt waferhantering är avgörande för att förhindra skador och säkerställa konsekvent bearbetning. SiC Ceramic Wafer Boats inneboende smörjighet och låga friktionskoefficient skapar en naturligt halkfri yta. Detta möjliggör en jämn, kontrollerad skivrörelse under lastning och lossning, vilket minimerar risken för repor, flisor eller andra skador som kan äventyra skivans integritet.