SiC -belagd platta

Semicorex SIC-belagd platta är en konstruerad högpresterande komponent som är speciellt utformad för epitaxial (EPI) tillväxtutrustning, vilket kräver stabila, högrenade substrat för att skapa högkvalitativa filmer. Det är en höghållfast grafitkärna, enhetligt och tätt belagd med kiselkarbid (SIC), vilket uppnår den oöverträffade termiska och mekaniska resistiviteten hos höghållfast grafit i kombination med den kemiska stabiliteten och ythållbarheten hos SIC. Semicorex SIC -belagd platta är byggd för att upprätthålla de extrema strängarna i de epitaxiella processerna för sammansatta halvledare inklusive SIC och GaN.

Den grafitkärnan i SIC -belagda plattan har enastående värmeledningsförmåga, låg densitet och överlägsen termisk chockmotstånd. Den måttligt låga termiska massan av grafitkärnan balanserad med utmärkt värmeledningsförmåga möjliggör en snabb fördelning av värme jämnt i en process där temperaturcykler äger rum i höga hastigheter. Det yttre skiktet av SIC avsatt av kemisk ångavsättning (CVD) erbjuder en skyddande barriär som ökar hårdhet, korrosionsbeständighet och kemisk inerthet, vilket erbjuder omedelbart värde för att begränsa eller förhindra partikelproduktion. Denna fasta elementära yta i kombination med de fysiska egenskaperna hos grafitbasen säkerställer en mycket hög renhetsprocessmiljö med mycket liten eller ingen risk för defektgenerering på de epitaxiella skikten.

Dimensionell precision och ytflathet är också väsentliga attribut för den SIC -belagda plattan. Varje platta är bearbetad och belagd med snäva toleranser för att säkerställa enhetlighet och repeterbarhet i processprestanda. Den släta och inerta ytan minskar kärnbildningsställena för oönskad filmavlagring och förbättrar skivans enhetlighet över plattytan.

I epitaxiala reaktorer implementeras SIC -belagda plattan vanligtvis som en susceptor, foder eller en termisk sköld för att ge strukturen och utföra som ett värmeöverföringsmedium till skivan som bearbetas. Stabil prestanda påverkar direkt kristallkvalitet, utbyte och produktivitet.