SiC Disc-mottagare

Med ett djupt engagemang för kvalitet och innovation sätter Semicorex ultrarena SiC Disc Susceptor en ny standard för prestanda i epitaxi-, MOCVD- och RTP-utrustning. Genom att kombinera exceptionell värmechockbeständighet, överlägsen värmeledningsförmåga, enastående kemisk beständighet och ultrahög renhet, gör dessa konstruerade komponenter det möjligt för halvledartillverkare att uppnå oöverträffad effektivitet, tillförlitlighet och produktkvalitet. Semicorex anpassningsbara lösningar säkerställer vidare att varje termisk bearbetningsapplikation drar nytta av optimerade, precisionskonstruerade komponenter designade för att möta dess unika krav.

Enastående termisk stötbeständighet:SiC Disc Susceptor utmärker sig i att motstå snabba temperaturfluktuationer, som är vanliga i RTP och andra högtemperaturprocesser. Denna exceptionella värmechockbeständighet säkerställer strukturell integritet och livslängd, minimerar risken för skador eller fel på grund av plötsliga temperaturförändringar och förbättrar tillförlitligheten hos den termiska bearbetningsutrustningen.

Överlägsen värmeledningsförmåga:Effektiv värmeöverföring är avgörande i termiska bearbetningsapplikationer. Den utmärkta värmeledningsförmågan hos SiC Disc Susceptor säkerställer snabb och enhetlig uppvärmning och kylning, väsentligt för exakt temperaturkontroll och processjämnhet. Detta leder till förbättrad processeffektivitet, minskade cykeltider och halvledarskivor av högre kvalitet.

Exceptionell kemisk beständighet:SiC Disc Susceptor ger enastående motståndskraft mot ett brett utbud av frätande och reaktiva kemikalier som används i epitaxi-, MOCVD- och RTP-processer. Denna kemiska tröghet skyddar den underliggande grafiten från nedbrytning, förhindrar kontaminering av processmiljön och säkerställer konsekvent prestanda under långa driftsperioder.

Ultrahög renhet: SiC Disc Susceptor är tillverkad enligt ultrahöga renhetsstandarder både för grafit- och SiC-beläggning, vilket undviker risken för kontaminering och säkerställer produktionen av defektfria halvledarenheter. Detta engagemang för renhet innebär högre avkastning och förbättrad enhetsprestanda.

Tillgänglighet för komplexa former:De avancerade tillverkningsmöjligheterna hos Semicorex möjliggör produktion av SiC Disc Susceptor i komplexa former skräddarsydda för specifika kundkrav. Denna flexibilitet möjliggör design av skräddarsydda lösningar som möter de exakta behoven för olika termiska behandlingstillämpningar, vilket förbättrar processeffektiviteten och utrustningens kompatibilitet.

Användbar i oxiderande atmosfärer:Den robusta CVD SiC-beläggningen ger utmärkt skydd mot oxidation, vilket gör att SiC Disc Susceptor kan fungera pålitligt i oxiderande miljöer. Detta utökar deras tillämpbarhet till ett bredare utbud av termiska processer, vilket säkerställer mångsidighet och anpassningsförmåga.

Robust, repeterbar prestanda:Designad för högtemperatur- och vakuummiljöer, erbjuder SiC Disc Susceptor robust och repeterbar prestanda. Dess hållbarhet och konsistens gör dem idealiska för kritiska termiska bearbetningsapplikationer, vilket minskar stilleståndstider, underhållskostnader och säkerställer långsiktig driftsäkerhet.

Semicorex är specialiserat på att skräddarsy CVD SiC-belagda komponenter för att möta de olika behoven hos termisk bearbetningsutrustning, inklusive:

Diffusorer:Förbättra enhetligheten i gasdistributionen och processkonsistensen.

Isolatorer:Ge termisk isolering och skydd i högtemperaturmiljöer.

Andra anpassade termiska komponenter:Skräddarsydda lösningar utformade för att möta specifika processkrav och optimera utrustningens prestanda.