Sic epitaxial modul

Semicorex sic epitaxial modul, tillverkad från premiumkvalitet, SIC -belagd grafit, är en del av epitaxial utrustning som är utvecklad för att motstå de svåraste elementen i kiselkarbid (SIC) epitaxiprocesser. Denna modul, avsedd för hög temperatur i CVD -applikationer med kemisk ångavsättning (är en viktig komponent för att demonstrera stabilitet och stöd för skivor under den epitaxiella tillväxten av SIC av hög kvalitet. Semicorex SIC -modulen är ett effektivt basmaterial för en pålitlig och repeterbar produktion av epitaxiellt material som överensstämmer med SIC -specifikationer för kvalitet.

Semicorex SiC -modulen är ett grafit -substrat täckt med ett tätt och enhetligt skikt av kiselkarbidplätering och är resistent mot partikelföroreningar och korrosion även i de svåraste processkemiklarna. SIC -beläggningen förbjuder förorening och erosion av den underliggande grafiten och ger betydande mekaniskt stöd och skydd upp till 1600 ° C. SIC -modulen kombinerar styrkan och bearbetbarheten för grafit med den övergripande slitage, korrosion och kemiska resistenta egenskaper hos kiselkarbid, vilket gör den till den bästa modulen i termer av hållbarhet i en hård epitaxial atmosfär.

Modulen är utformad för att tillhandahålla en enhetlig termisk profil samtidigt som dimensionell förändring minimeras under hela den termiska cykelprocessen. Denna termiska enhetlighet och stabilitet är väsentlig för att upprätthålla skivfasthet och epitaxi -enhetlighet. Om skivan upprätthåller en stabil position med hög värmeledningsförmåga, kommer de termiska förhållandena över skivan under bearbetningen att vara enhetlig, vilket positivt påverkar utbytet, kristallkvaliteten och driftstopp relaterad till delfel eller förorening.

SIC-epitaxialmodulen är kompatibel med flera epitaxiella reaktorer inklusive varmvägg och kallvägg och har möjlighet att anpassas för att forma och dimensioner för att tillgodose specifika reaktorlayouter och kundbehov. SIC-epitaxialmodulen är väl lämpad för, men inte begränsad till, 4-tums, 6-tums och nya 8-tums SIC-epitaxy-applikationer. På grund av den höga renheten och optimerade geometrien för SiC -epitaxialmodulen minimeras fysisk störning i dess påverkan på gasflödesdynamiken och termiska gradienter som stöder mer kontrollerad tillväxt av epitaxialskiktet.

Semicorexs SIC -epitaxiala moduler representerar den högsta kvalitetskontrollerade stycket i den excentriska församlingen. Förutom de högkvalitativa kontrollprotokollen använder Semicorex de senaste beläggningsmetoderna för att tillämpa enhetliga, täta och lågutgudande SIC-filmer. Semicorex har en lång historia av högpresterande keramiska beläggningar och grafitbearbetning som identifierar processfördelar som ger bästa möjliga produktlivslängd, konsistens och processstabilitet från sats till batch.

Inom det snabbutvecklande fältet för SIC-kraftanordningar, där materialkvaliteten direkt påverkar enhetens prestanda, är den epitaxiella modulen inte bara en förbrukningsbar-det är en kritisk möjliggörare. Den SIC-belagda grafitepitaxialmodulen från Semicorex erbjuder en robust, pålitlig lösning för kunder som försöker driva gränserna för effektivitet, utbyte och kostnadseffektivitet i SIC-epitaxi.