SiC processrör

Semicorex SiC Process Tubes är gjorda av hög renhet SiC keramik med CVD SiC beläggning, den är lämplig för horisontell ugn i Semiconductor. Med tanke på produktkvaliteten och eftermarknadsservicen är Semicorex den som vill göra affärer av hög kvalitet med våra globala kunder.*

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Semicorex SiC processrör är de viktiga strukturella komponenterna i oxidation, diffusion, RTA/RTP i halvledartillverkningsprocessen. Det är vanligtvis ett rör med stor diameter som ett reaktorugnsutrymme, alla kemiska processer kommer att ske inuti. Så styrkan, motståndskraften mot termisk stöt är båda mycket grundläggande poäng för produkten.

Sic-processrören tillverkas avsintrad kiselkarbid, det kan vara SiSiC, SSiC eller RSiC, och CVD SiC-beläggningen på ytan, vilket kommer att bilda ett skikt med ultrahög renhet. Det kan förhindra förorening av partiklar, aska etc. Och materialet har mycket hög värmechockbeständighet, så SiC-processrören kan hålla sig stabila i hög temperaturbeständighet, och förhindra att föroreningarna fälls ut vid höga temperaturer och därmed förorenar miljön.

Dessa SiC-processrör är designade för användning i atmosfärer med reaktiv gas (syre), skyddsgas (kväve) och minimala mängder vätekloridgas, och erbjuder enastående kemisk beständighet, termisk stabilitet och materialrenhet till 1250°C. Semicorex SiC Process Tubes kombinerar toppmodern 3D-utskriftstillverkning med kemisk ångavsättning (CVD) beläggning för att ge överlägsen prestanda och livslängd under de mest extrema termiska och kemiska förhållanden.

Semicorex SiC Process Tubes tillverkas via en integrerad 3D-printprocess snarare än ett konventionellt pressformat eller monterat rör. Denna tillverkningsprocess möjliggör en kontinuerlig, konsekvent struktur av keramik utan fogar och svaga områden, vilket skapar en hög grad av komplexitet och dimensionell trohet, vilket kan lindra stresskoncentrationer samtidigt som den mekaniska styrkan förbättras. Dessutom ger den monolitiska strukturen en naturlig gastät tätning, vilket minskar föroreningar och läckage under högtemperaturprocesser.

DeSicav kroppen är ett material med ultralåg förorening (< 300 ppm), vilket ger utmärkt materialrenhet och stabilitet för reaktiva atmosfärer. Dessutom är röret belagt med ett CVD-kiselkarbidskikt (< 5 ppm) för att förbättra korrosionsbeständigheten och ytskyddet.

Semicorex tillhandahåller den skräddarsydda tjänsten, vi kan producera enligt kundens ritningar, för att möta de krav som krävs. Så Semicorex SiC processrör kan alternativt vara lämpliga inte bara för horisontella ugnar, utan även vertikala ugnar.