Silikonglödgningsbåt

Ultrahög renhet för orörda bearbetningsmiljöer: Semicorex Silicon Annealing Boat, tillverkad av kisel med ultrahög renhet (upp till 13N renhet), minimerar risken för kontaminering under högtemperaturbearbetning. Denna exceptionella renhet säkerställer att skivorna utsätts för en orörd miljö, vilket förhindrar införandet av oönskade föroreningar som kan försämra enhetens prestanda och minska utbytet.

Minskad waferkontakt för minimerad skada:Den släta, polerade ytan på Silicon Annealing Boat minimerar kontaktpunkterna med wafers, vilket avsevärt minskar risken för repor, flisor eller andra mekaniska skador under transport och bearbetning. Denna försiktiga hantering bevarar integriteten hos wafers, förbättrar det övergripande processutbytet och bidrar till enheter av högre kvalitet.

Anpassningsbara mönster för optimerad prestanda: Silicon Annealing Boat-designerna kan skräddarsys för att möta specifika processkrav, inklusive variationer i båtform, längd, vinkel och antalet waferstödtänder. Denna anpassning möjliggör optimering av gasflödesdynamik, temperaturlikformighet och waferavstånd i ugnen, vilket säkerställer konsekventa och repeterbara bearbetningsresultat för ett brett spektrum av enhetsgeometrier och processparametrar.

Hög polykiselavsättningsgräns för förlängd drift:Silikonglödgningsbåten har en hög tolerans för polykiselavsättning, vilket möjliggör förlängd drift innan rengöring eller byte krävs. Denna förlängda livslängd minskar utrustningens stilleståndstid i samband med underhåll, vilket bidrar till ökad produktionskapacitet och lägre totala tillverkningskostnader.