Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.
Keramiska komponenter av hög renhet av SiC är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från förbrukningsartiklar till utrustning för bearbetning av skivor, såsom kiselkarbidskiva, fribärande paddlar, rör, etc för Epitaxy eller MOCVD.
Fördelar för halvledarprocesser
De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex levererar konstruktion av kiselkarbid med hög renhet (SiC) ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och motståndskraft.
Kammarlock →
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.
Fribärande paddel →
Cantilever Paddle är en avgörande komponent som används i halvledartillverkningsprocesser, särskilt i diffusions- eller LPCVD-ugnar under processer som diffusion och RTP.
Processrör →
Process Tube är en avgörande komponent, speciellt designad för olika halvledarbearbetningsapplikationer som RTP, diffusion.
Waferbåtar →
Wafer Boat används i halvledarbearbetning, den har noggrant utformats för att säkerställa att de ömtåliga wafers hålls säkra under de kritiska stadierna av produktionen.
Inloppsringar →
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
Fokusring →
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.
Semicorex har även keramiska produkter i aluminiumoxid (Al2O3), kiselnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirkoniumoxid (ZrO2), kompositkeramik, etc.
C/SiC Ceramic Matrix Composites är en ny typ av termisk struktur/funktionellt integrationsmaterial som kombinerar fördelarna med metall-, keram- och kolmaterial och har egenskaperna för högtemperaturbeständighet, låg densitet, högt hållfasthetsförhållande, hög specifik modul, oxidationsbeständighet, ablationsbeständighet, okänslighet för sprickor och inga katastrofala skador. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganLås upp symbolen för prestanda och hållbarhet inom halvledarutrustningens område med vårt banbrytande SiC-belagda grafitlock. Denna skivformade komponent är expertdesignad för olika halvledarapplikationer, och erbjuder en unik kombination av grafit och kiselkarbid (SiC) beläggning för att förbättra funktionalitet och effektivitet. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganUpplev symbolen för precision i förfining av halvledarskivor med vår banbrytande kiselkarbidslipskiva. Denna skivformade komponent, noggrant designad för halvledarutrustning, omdefinierar standarderna för ytslipning, vilket säkerställer optimala resultat för halvledarskivor. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganLås upp oöverträffad precision i ytbehandling av halvledarskivor med vår toppmoderna SiC Wafer Grinding Disk. Denna väsentliga komponent är noggrant designad för användning i halvledarutrustning, speciellt framtagen för att uppnå optimala resultat vid skivslipning. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC Heater Silicon Carbide Heating Elements, är ett specialiserat verktyg som används vid hantering och bearbetning av halvledarskivor. Denna avgörande utrustning spelar en avgörande roll för att skapa den optimala termiska miljön som krävs för produktion av högkvalitativa halvledarenheter. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC Wafer Carrier i Semiconductor, är ett specialiserat verktyg som används vid hantering och bearbetning av halvledarwafers. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfrågan