Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.
Keramiska komponenter av hög renhet av SiC är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från förbrukningsartiklar till utrustning för bearbetning av skivor, såsom silicon Carbide wafer båt, cantilever paddlar, rör, etc för Epitaxy eller MOCVD.
Fördelar för halvledarprocesser
De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex levererar konstruktion av kiselkarbid med hög renhet (SiC) ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och motståndskraft.
Kammarlock →
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.
Fribärande paddel →
Cantilever Paddle är en avgörande komponent som används i halvledartillverkningsprocesser, särskilt i diffusions- eller LPCVD-ugnar under processer som diffusion och RTP.
Processrör →
Process Tube är en avgörande komponent, speciellt designad för olika halvledarbehandlingstillämpningar som RTP, diffusion.
Waferbåtar →
Wafer Boat används i halvledarbearbetning, den har noggrant utformats för att säkerställa att de ömtåliga wafers hålls säkra under de kritiska stadierna av produktionen.
Inloppsringar →
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
Fokusring →
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.
Semicorex har även keramiska produkter i aluminiumoxid (Al2O3), kiselnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirkoniumoxid (ZrO2), kompositkeramik, etc.
SiC Ceramic Seal Ring är känd för sin robusta prestanda och hållbarhet. Semicorex erbjuder högkvalitativa SiC keramiska tätningsringar som uppfyller de stränga kraven från modern industri. Dessa ringar har blivit oumbärliga för att förbättra effektiviteten och tillförlitligheten hos mekaniska tätningar.**
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC Furnace Tube är en oumbärlig tillgång för halvledartillverkare som strävar efter att förbättra sina diffusionsprocesser. Med sina oöverträffade materialegenskaper, precisionsdesign och användarvänlighet är vårt SiC Furnace Tube den idealiska lösningen för att förbättra avkastning och produktkvalitet. Lita på att Semicorex tillhandahåller de banbrytande lösningarna du behöver för att briljera i det snabba halvledarlandskapet.*
Läs merSkicka förfråganSiC Plate från Semicorex är ett oumbärligt verktyg för alla tillverkare inom LED-industrin som vill optimera sina ICP-etsningsprocesser. Med sina exceptionella materialegenskaper, precisionsteknik och enkla integration är vår SiC-platta det perfekta valet för att förbättra effektiviteten och produktkvaliteten. Lita på att Semicorex levererar de lösningar du behöver för att ligga i framkanten av halvledarindustrin.*
Läs merSkicka förfråganAlN Heater från Semicorex är designad för att stödja och värma silikonwafers. Denna värmare är tillverkad av aluminiumnitrid med hög renhet (AlN) och erbjuder en rad avancerade funktioner som tillgodoser behoven hos olika högprecisionstillämpningar, särskilt inom halvledarindustrin.**
Läs merSkicka förfråganSemicorex AIN-substrat utmärker sig i överlägsen värmehantering och elektrisk isolering, vilket ger en robust lösning tillverkad av högren AlN-keramik. Detta vita keramiska material prisas för sina omfattande egenskaper.**
Läs merSkicka förfråganSemicorex presenterar stolt Al2O3-substratet, ett mångsidigt och högpresterande material tillverkat av hög ren aluminiumoxid (aluminiumoxid). Detta avancerade keramiska substrat prisas för sina exceptionella egenskaper, vilket gör det till en hörnsten i olika högteknologiska industrier, inklusive elektronik, optoelektronik och bränsleceller med fast oxid.**
Läs merSkicka förfrågan