Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.
Keramiska komponenter av hög renhet av SiC är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från förbrukningsartiklar till utrustning för bearbetning av skivor, såsom kiselkarbidskiva, fribärande paddlar, rör, etc för Epitaxy eller MOCVD.
Fördelar för halvledarprocesser
De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex levererar konstruktion av kiselkarbid med hög renhet (SiC) ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och motståndskraft.
Kammarlock →
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.
Fribärande paddel →
Cantilever Paddle är en avgörande komponent som används i halvledartillverkningsprocesser, särskilt i diffusions- eller LPCVD-ugnar under processer som diffusion och RTP.
Processrör →
Process Tube är en avgörande komponent, speciellt designad för olika halvledarbearbetningsapplikationer som RTP, diffusion.
Waferbåtar →
Wafer Boat används i halvledarbearbetning, den har noggrant utformats för att säkerställa att de ömtåliga wafers hålls säkra under de kritiska stadierna av produktionen.
Inloppsringar →
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
Fokusring →
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.
Semicorex har även keramiska produkter i aluminiumoxid (Al2O3), kiselnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirkoniumoxid (ZrO2), kompositkeramik, etc.
Semicorex SiC (Silicon Carbide) Cantilever Paddle är en avgörande komponent som används i halvledartillverkningsprocesser, särskilt i diffusions- eller LPCVD (Low-Pressure Chemical Vapor Deposition) ugnar under processer som diffusion och RTP (Rapid Thermal Processing). SiC Cantilever Paddle ska bära halvledarskivor säkert inuti processröret under olika högtemperaturprocesser som diffusion och RTP. Det tjänar syftet att stödja och transportera wafers i processröret i dessa ugnar. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex Vertical Wafer Boat representerar en avgörande komponent inom halvledarbearbetning, designad för att säkert hysa och transportera ömtåliga kiselwafers genom olika stadier av tillverkningen. Tillverkad av Silicon Carbide (SiC), ett robust och termiskt stabilt material känt för sina exceptionella egenskaper i tuffa miljöer, garanterar dessa båtar integriteten och säkerheten hos wafers under bearbetning. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC Wafer Transfer Hand står som en hörnsten för automatisering inom halvledartillverkningsprocessen, och fungerar som ett sofistikerat robotverktyg för exakt och effektiv hantering av halvledarwafers. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC Finger står som en avgörande komponent inom halvledarbearbetning, arbete som waferöverföringsverktyg. Den här specialiserade enheten är formad som ett finger och är noggrant tillverkad av kiselkarbid (SiC), ett material som är känt för sin exceptionella mekaniska styrka, termiska stabilitet och motståndskraft mot tuffa kemiska miljöer. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex Silicon Carbide Process Tube är en avgörande komponent inom halvledartillverkningen, speciellt designad för användning i vertikala ugnar som används i olika halvledarbearbetningstillämpningar såsom RTP, diffusion. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex Robot Hand, en central komponent i ugnen Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD), står som ett bevis på precisionsteknik och avancerad materialvetenskap. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfrågan