Silicon Carbide Wafer Båt

Semicorex utvecklar keramik av halvledarkvalitet för dina OEM-halvfabrikationsverktyg och waferhanteringskomponenter. Vår Silicon Carbide Wafer Boat har en bra prisfördel och täcker många av de europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Semicorex kiselkarbidwaferbåt, med extremt hög renhet (upp till 99,99%), utmärkt plasmabeständighet och värmebeständighet, och begränsad förekomst av partiklar, används i delar av halvledarbearbetningsutrustning, inklusive strukturella komponenter och verktyg.
På Semicorex fokuserar vi på att tillhandahålla högkvalitativ, kostnadseffektiv Silicon Carbide Wafer Boat, vi prioriterar kundnöjdhet och tillhandahåller kostnadseffektiva lösningar. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner, leverera högkvalitativa produkter och exceptionell kundservice.
Kontakta oss idag för att lära dig mer om vår Silicon Carbide Wafer Boat.

Parametrar för Silicon Carbide Wafer Boat

Tekniska egenskaper
Index	Enhet	Värde
material namn		Reaktionssintrad kiselkarbid	Trycklös sintrad kiselkarbid	Omkristalliserad kiselkarbid
Sammansättning		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulkdensitet	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Böjhållfasthet	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100 (1400°C)
Tryckhållfasthet	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Hårdhet	Knoop	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Värmeledningsförmåga	W/m.k	95	120	23
Värmeutvidgningskoefficient	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Specifik värme	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Max temperatur i luft	℃	1200	1500	1600
Elasticitetsmodul	Gpa	360	410	240

Skillnaden mellan SSiC och RBSiC:

1. Sintringsprocessen är annorlunda. RBSiC ska infiltrera fritt Si i kiselkarbid vid låg temperatur, SSiC bildas genom naturlig krympning vid 2100 grader.

2. SSiC har slätare yta, högre densitet och högre hållfasthet, för vissa tätningar med strängare ytkrav blir SSiC bättre.

3. Olika använd tid under olika PH och temperatur, SSiC är längre än RBSiC

Egenskaper hos Silicon Carbide Wafer Boat

Överlägsen värmebeständighet och termisk enhetlighet
Fin SiC-kristallbelagd för en slät yta
Hög hållbarhet mot kemisk rengöring
Materialet är utformat så att sprickor och delaminering inte uppstår.