Keramisk sluteffektor

Semicorex är din partner för avancerade grafitkomponenter och sammansättningar för att stödja högre genomströmning och bättre avkastning i din halvledarbearbetningsutrustning. Våra materialexperter är beredda att arbeta med dig för att utveckla den optimala rätt lösningen för dina krav på waferhantering, uppvärmning och bearbetning. Vår keramiska sluteffektor har en bra prisfördel och täcker många av de europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Ceramic End Effector är robotens hand som flyttar halvledarwafers mellan positioner i waferbehandlingsutrustning och bärare. Ändeffektorn måste vara dimensionellt exakt och termiskt stabil, samtidigt som den har en slät, nötningsbeständig yta för att säkert hantera wafers utan att skada enheter eller producera partikelföroreningar. Vår keramiska sluteffektor av kiselkarbid med hög renhet ger överlägsen värmebeständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och beständighet, och hållbar kemisk beständighet.

På Semicorex fokuserar vi på att tillhandahålla högkvalitativa, kostnadseffektiva Ceramic End Effector, vi prioriterar kundnöjdhet och tillhandahåller kostnadseffektiva lösningar. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner, leverera högkvalitativa produkter och exceptionell kundservice.

Parametrar för Ceramic End Effector

Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning
SiC-CVD-egenskaper
Kristallstruktur	FCC β-fas
Densitet	g/cm³	3.21
Hårdhet	Vickers hårdhet	2500
Kornstorlek	μm	2~10
Kemisk renhet	%	99.99995
Värmekapacitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Felexural styrka	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt böj, 1300 ℃)	430
Termisk expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Värmeledningsförmåga	(W/mK)	300