Semicorex är din partner för avancerade grafitkomponenter och sammansättningar för att stödja högre genomströmning och bättre avkastning i din halvledarbearbetningsutrustning. Våra materialexperter är beredda att arbeta med dig för att utveckla den optimala rätt lösningen för dina waferhanterings-, uppvärmnings- och bearbetningskrav. Vår keramiska sluteffektor har en bra prisfördel och täcker många av de europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Ceramic End Effector är robotens hand som flyttar halvledarskivor mellan positioner i waferbearbetningsutrustning och bärare. Ändeffektorn måste vara dimensionellt exakt och termiskt stabil, samtidigt som den har en slät, nötningsbeständig yta för att säkert hantera wafers utan att skada enheter eller producera partikelföroreningar. Vår keramiska sluteffektor av hög renhet av kiselkarbid ger överlägsen värmebeständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och beständighet, och hållbar kemisk beständighet.
På Semicorex fokuserar vi på att tillhandahålla högkvalitativa, kostnadseffektiva Ceramic End Effector, vi prioriterar kundnöjdhet och tillhandahåller kostnadseffektiva lösningar. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner, leverera högkvalitativa produkter och exceptionell kundservice.
Parametrar för Ceramic End Effector
Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning |
||
SiC-CVD-egenskaper |
||
Kristallstruktur |
FCC β fas |
|
Densitet |
g/cm³ |
3.21 |
Hårdhet |
Vickers hårdhet |
2500 |
Kornstorlek |
μm |
2~10 |
Kemisk renhet |
% |
99.99995 |
Värmekapacitet |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimeringstemperatur |
℃ |
2700 |
Felexural styrka |
MPa (RT 4-punkts) |
415 |
Youngs modul |
Gpa (4pt böj, 1300â) |
430 |
Termisk expansion (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Värmeledningsförmåga |
(W/mK) |
300 |
Funktioner av hög renhet Ceramic End Effector
â SiC-belagd grafit med hög renhet
â Överlägsen värmebeständighet och termisk enhetlighet
â Fin SiC-kristallbelagd för en slät yta
â Hög hållbarhet mot kemisk rengöring
â Materialet är utformat så att sprickor och delaminering inte uppstår.